江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种半导体清洗装置及清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206236U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422450355.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体清洗装置及清洗设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体清洗装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体清洗装置及清洗设备，清洗装置包括：进液轴组件，具有进液通道，包括进液轴和与进液轴套接的旋转轴，旋转轴被配置为可相对进液轴转动；喷淋组件，包括至少两个管道，至少两个管道包括分别与进液通道连通的喷淋管和辅助管；喷淋管被配置为若干喷射口喷射清洗液以反作用力驱动喷淋管相对进液轴转动，无机械驱动的方式使得喷淋管旋转能够提高清洗液清洗半导体器件的清洗效果，且清洗装置的结构简单，成本低；辅助管上还设置有喷洒口，进而能够在保证整个清洗装置具有足够的反作用力而转动的情况下，还通过喷射口和喷洒口保证喷淋组件喷出清洗液的覆盖面积，来达到对半导体器件的清洗效果。
本实用新型一种半导体清洗装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗装置，其特征在于，包括： 进液轴组件，具有进液通道，包括进液轴和与所述进液轴套接的旋转轴，所述旋转轴被配置为可相对所述进液轴转动； 喷淋组件，包括至少两个管道，至少两个所述管道包括分别与所述进液通道连通的喷淋管和辅助管；所述喷淋管具有连接端和封闭端，所述连接端与所述进液通道连通，所述喷淋管呈直线型，且每个所述喷淋管上沿其轴线方向间隔设置有若干喷射口； 所述喷淋管被配置为若干喷射口喷射清洗液以反作用力驱动喷淋管相对所述进液轴转动； 所述辅助管上设置有喷洒口，清洗液自所述喷洒口喷出并沿所述喷洒口的第一预设角度弥散以具有第一喷射区域，清洗液自所述喷射口喷出并沿所述喷射口的第二预设角度延伸以具有第二喷射区域，所述第一预设角度大于所述第二预设角度，以使所述第一喷射区域大于第二喷射区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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