珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司陈唯一获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利一种晶圆定位装置及贴膜机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223206251U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422453938.0,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种晶圆定位装置及贴膜机是由陈唯一;方森;阳小英设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆定位装置及贴膜机在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆定位装置及贴膜机,所述晶圆定位装置包括晶圆台盘及定位机构;所述晶圆台盘上设置有与单切口晶圆形状相适应的工位;所述定位机构包括第一定位销、第二定位销、第三定位销及其驱动部件,所述第一定位销及第二定位销位于所述工位的齐边处,所述第三定位销位于所述工位的圆弧边处,且所述第一定位销、第二定位销的直线距离小于所述单切口晶圆的齐边长度,所述第三定位销与所述第一定位销、第二定位销的直线距离均大于所述单切口晶圆的齐边长度,所述驱动部件包括旋转驱动部件,可驱动所述第一定位销、第二定位销、第三定位销沿相同方向自旋转运动;可以避免因人手接触晶圆正面而影响晶圆表面清洁度的问题,提升质量和性能。
本实用新型一种晶圆定位装置及贴膜机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆定位装置,用于单切口晶圆1的定位,所述单切口晶圆1边缘由齐边11及圆弧边12组成,其特征在于,包括晶圆台盘2及定位机构3;所述晶圆台盘2上设置有与所述单切口晶圆1形状相适应的工位;所述定位机构3包括第一定位销31、第二定位销32、第三定位销33及其驱动部件,所述第一定位销31及第二定位销32位于所述工位的齐边处,所述第三定位销33位于所述工位的圆弧边处,且所述第一定位销31、第二定位销32的直线距离小于所述单切口晶圆1的齐边11长度,所述第三定位销33与所述第一定位销31、第二定位销32的直线距离均大于所述单切口晶圆1的齐边11长度;所述驱动部件包括旋转驱动部件,可驱动所述第一定位销31、第二定位销32、第三定位销33沿相同方向自旋转运动。
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