中微半导体设备(上海)股份有限公司段国安获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种气体验证装置及半导体处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223204990U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422446632.2，技术领域涉及：G01F25/00；该实用新型一种气体验证装置及半导体处理设备是由段国安;连增迪;倪图强;徐扬;钟水苗设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体验证装置及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气体验证装置及半导体处理设备。气体验证装置，包括罐体，罐体由壳体包裹出空腔，以形成气体容积，罐体上设有进气口和出气口，进气口和出气口分别与空腔连通，出气口串联一阀；在空腔的一侧面上，设置有温度传感器和压力传感器，温度传感器与压力传感器分别嵌入壳体内并与空腔连通。本实用新型通过温度传感器与压力传感器嵌入壳体设置，可以提高气体验证装置的集成度，减少空间占用，同时，由壳体对温度传感器与压力传感器进行密闭保护，使温度传感器与压力传感器免除外界干扰，获得更加准确的测量信息。并且，温度传感器与压力传感器安装位置和温度取样口与压力取样口位置优化，进一步提高了气体验证准确性。
本实用新型一种气体验证装置及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种气体验证装置，其特征在于，包括 罐体，所述罐体由壳体包裹出空腔，以形成气体容积， 所述罐体上设有进气口和出气口，所述进气口和出气口分别与所述空腔连通，所述出气口串联一阀； 在所述空腔的一侧面上，设置有温度传感器和压力传感器，所述温度传感器与压力传感器分别嵌入所述壳体内并与空腔连通。
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