天合光能股份有限公司戴泽军获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利双层炉管结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223201917U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422420425.X,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型双层炉管结构是由戴泽军;陈奕峰;周兴宝设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本双层炉管结构在说明书摘要公布了:本申请涉及一种双层炉管结构,双层炉管结构具有相对设置的炉口和炉尾,双层炉管结构包括内管和外管,外管套设在内管外;内管与外管位于炉口的一端密封连接,内管与外管位于炉尾的一端部分密封连接,内管与外管之间的压力低于内管的压力;在炉口的一端,内管与外管之间开设有气体进口;在炉尾的一端,内管与外管之间开设有辅助抽真空口。气体能够从靠近炉尾的一端进入至内管与外管之间,同时位于炉口一端的气体进口吹惰性气体,位于炉尾一端的辅助抽真空口抽真空,从而能够使得进入至内管和外管之间的气体被快速排出,进而能够减少气体中剩余的SiH4在内管和外管上的沉积速度,延长双炉管结构的使用寿命,降低生产成本。
本实用新型双层炉管结构在权利要求书中公布了:1.一种双层炉管结构,其特征在于,所述双层炉管结构具有相对设置的炉口和炉尾,所述双层炉管结构包括内管和外管,所述外管套设在所述内管外; 所述内管与所述外管位于所述炉口的一端密封连接,所述内管与所述外管位于所述炉尾的一端部分密封连接,所述内管与外管之间的压力低于所述内管的压力; 在所述炉口的一端,所述内管与所述外管之间开设有气体进口;在所述炉尾的一端,所述内管与所述外管之间开设有辅助抽真空口。
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