成都中科卓尔智能科技集团有限公司何吉刚获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利一种用于气相沉积的匀流结构及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223201915U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422403976.5，技术领域涉及：C23C16/18；该实用新型一种用于气相沉积的匀流结构及镀膜设备是由何吉刚;邢邦丽;李越设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于气相沉积的匀流结构及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于气相沉积的匀流结构及镀膜设备，包括进气接头和进气管道，所述进气管道连接进气接头，所述进气接头包括顶盖、第一匀流板和第二匀流板，第一匀流板设置在顶盖和第二匀流板之间，顶盖的内壁设置有径向发散状的导流腔，进气管道与导流腔相连通；导流腔通过第一气孔组连通扩散层，扩散层通过第二气孔组输出气体。本实用新型通过导流腔和第一气孔组形成能够进行径向扩散的导流路径，让气体能够沿着导流腔由中心位置向外进行扩散，使得进气管道输入的气体能够增大扩散圈层的半径，则进气管道通入进气接头的气体能够通过更加充分的进行均匀扩散，满足大体积镀膜设备的气体均匀输入需求。
本实用新型一种用于气相沉积的匀流结构及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种用于气相沉积的匀流结构，其特征在于：包括进气接头和进气管道（1），所述进气管道（1）连接进气接头，所述进气接头包括顶盖（2）、第一匀流板（3）和第二匀流板（4），第一匀流板（3）设置在顶盖（2）和第二匀流板（4）之间，顶盖（2）的内壁设置有径向发散状的导流腔（6），进气管道（1）与导流腔（6）相连通；第一匀流板（3）开设有径向发散状的第一气孔组（31），第一匀流板（3）和第二匀流板（4）之间构造有扩散层（5），导流腔（6）通过第一气孔组（31）连通扩散层（5），第二匀流板（4）开设有第二气孔组（41），扩散层（5）通过第二气孔组（41）输出气体。
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