成都中科卓尔智能科技集团有限公司万敏获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利一种腔门连接电极结构及镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223201919U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422403979.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种腔门连接电极结构及镀膜装置是由万敏;李越;何吉刚设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种腔门连接电极结构及镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种腔门连接电极结构及镀膜装置，包括腔门，所述腔门内设置电极板、引入电极和绝缘垫，电极板设置在腔门的内侧面，腔门设置安装孔，安装孔内设置引入电极，引入电极与电极板相连，电极板的表面为弧面结构。本实用新型通过将电极板的表面弯曲成弧形来减小边沿的边缘效应，使得电极板产生的工艺所需等离子体分布均匀。
本实用新型一种腔门连接电极结构及镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种腔门连接电极结构，其特征在于：包括腔门（1），所述腔门（1）内设置电极板（2）、引入电极（3）和绝缘垫（4），电极板（2）设置在腔门（1）的内侧面，腔门（1）设置安装孔（11），安装孔（11）内设置引入电极（3），引入电极（3）与电极板（2）相连，电极板（2）的表面为弧面结构； 所述引入电极（3）包括密封上板（31）、密封下板（32）、固定螺钉（33）和弹性触点（34），密封上板（31）和密封下板（32）通过固定螺钉（33）进行连接，弹性触点（34）设置在密封下板（32）。
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