中微半导体设备(上海)股份有限公司王璐瑛获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种混气装置和半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223201918U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422400968.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种混气装置和半导体制造设备是由王璐瑛;叶佳晨;张海龙;莱纳德·刘设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种混气装置和半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种混气装置和半导体制造设备，混气装置包括混气管路、第一进气管路和出气管路。混气管路的中心轴线为第一中心轴，混气管路的侧壁上设置有第一进气口，混气管路的两端区域设置有第二进气口和第一出气口；第一进气管路连接于第一进气口，第一进气管路的中心轴线为第二中心轴，第二中心轴与第一中心轴异面；出气管路的一端连接于第一出气口，出气管路的另一端设有第二出气口。本实用新型的混气装置，将第一进气口的进气轴线与混气管路的中心轴线异面设置，来自第一进气口的气体在混气管路内形成螺旋状的气流，和第二进气口进入的气流混合均匀，提高来自第一进气口和第二进气口的气体混合均匀性。
本实用新型一种混气装置和半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种混气装置，其特征在于，所述混气装置包括： 混气管路，其中心轴线为第一中心轴，所述混气管路的侧壁上设置有第一进气口，所述混气管路的两端区域设置有第二进气口和第一出气口； 第一进气管路，其连接于所述第一进气口，所述第一进气管路的中心轴线为第二中心轴，所述第二中心轴与所述第一中心轴异面； 出气管路，所述出气管路的一端连接于所述第一出气口，所述出气管路的另一端设有第二出气口。
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