拉普拉斯新能源科技股份有限公司何艾华获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223197663U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422362152.8，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型清洗装置是由何艾华;朱太荣;林佳继设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置在说明书摘要公布了：本公开涉及沉积镀膜技术领域，具体涉及一种清洗装置，解决了清洗装置对待清洗件清洗的均匀性差的问题。清洗装置包括腔体、至少一个远程等离子体源、电极板组件和电源组件。腔体具有腔室，用于容纳待清洗件，远程等离子体源与腔体连接，能够向腔室提供第一等离子体，第一等离子体用于对腔室内的待清洗件进行清洗。部分第一等离子体在腔室中复合为清洗气体，电源组件与电极板组件电连接，使电极板组件形成电场，电场将清洗气体电离为第一等离子体，以降低由于部分第一等离子体复合生成的清洗气体失去清洗效果而导致清洗装置对待清洗件清洗的均匀性差的概率，提高了清洗装置对待清洗件清洗的均匀性。
本实用新型清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括： 腔体，具有腔室，所述腔室被配置为容纳待清洗件； 至少一个远程等离子体源，与所述腔体连接，被配置为向所述腔室提供第一等离子体，所述第一等离子体用于对所述腔室内的所述待清洗件进行清洗，其中，部分所述第一等离子体在所述腔室中复合为清洗气体； 电极板组件，设置于所述腔室； 电源组件，与所述电极板组件电连接，使所述电极板组件形成电场，所述电场用于将所述清洗气体电离为所述第一等离子体。
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