无锡昌鼎电子有限公司陈能强获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡昌鼎电子有限公司申请的专利一种双轨导模真空小转盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223201062U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422368202.3,技术领域涉及:B65G47/80;该实用新型一种双轨导模真空小转盘是由陈能强;朱林清设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双轨导模真空小转盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体芯片加工技术领域,特别涉及一种双轨导模真空小转盘。包括回转支承座,还包括:配气盘,安装于所述回转支承座的顶部,且所述配气盘内同圆心开设有左真空仓和右真空仓;左真空仓进气口和右真空仓进气口,分别开设于所述左真空仓和右真空仓的底部;左导模破真空口和右导模破真空口,分别开设于所述配气盘的圆周侧壁上,并分别与所述左真空仓和右真空仓相连通;导模盘,通过支承套安装于所述配气盘的顶部,且所述导模盘上周向阵列有若干左导模和右导模,所述左导模和所述右导模内分别开设有左气孔和右气孔。本实用新型从而实现了单双轨可自由切换或同时作业的功能,提高了工作效率。
本实用新型一种双轨导模真空小转盘在权利要求书中公布了:1.一种双轨导模真空小转盘,包括回转支承座1,其特征在于,还包括: 配气盘2,安装于所述回转支承座1的顶部,且所述配气盘2内同圆心开设有左真空仓3和右真空仓4; 左真空仓进气口5和右真空仓进气口6,分别开设于所述左真空仓3和右真空仓4的底部; 左导模破真空口7和右导模破真空口8,分别开设于所述配气盘2的圆周侧壁上,并分别与所述左真空仓3和右真空仓4相连通; 导模盘9,通过支承套91安装于所述配气盘2的顶部,且所述导模盘9上周向阵列有若干左导模10和右导模11,所述左导模10和所述右导模11内分别开设有左气孔和右气孔,且所述左气孔和所述右气孔通过气管分别与所述左真空仓3和右真空仓4相连通。
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