浙江日月光能科技有限公司余博获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江日月光能科技有限公司申请的专利一种使BSG水膜更加均匀的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206235U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422311225.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种使BSG水膜更加均匀的装置是由余博;黄浩;郭拥晋设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种使BSG水膜更加均匀的装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种使BSG水膜更加均匀的装置，涉及湿法刻蚀技术领域，包括水膜覆盖机构，所述水膜覆盖机构的侧面设置有封板机构，所述封板机构的底部设置有输送机构，所述水膜覆盖机构包括喷水机，所述喷水机的底部设置有喷水头。本实用新型通过喷水机与喷水头配合将水输送至雾化喷头的位置均匀雾化喷出，在覆盖的完整性方面能够确保被处理的表面完全被水膜所覆盖，几乎不存在遗漏的区域，并且水膜的厚度一致性表现出色，雾化喷出的液体能够形成厚度均匀的水膜，使电池片在制备过程中不会造成过刻现象，从而提高电池片良率和效率，均匀的水膜分布有助于提高液体的利用效率，液体能够均匀地覆盖在目标表面，减少了不必要的浪费和损耗。
本实用新型一种使BSG水膜更加均匀的装置在权利要求书中公布了：1.一种使BSG水膜更加均匀的装置，包括水膜覆盖机构（1），其特征在于：所述水膜覆盖机构（1）的侧面设置有封板机构（2），所述封板机构（2）的底部设置有输送机构（3），所述水膜覆盖机构（1）包括喷水机（101），所述喷水机（101）的底部设置有喷水头（102），所述喷水头（102）的底部一圈沿顺时针方向分布有多个雾化喷头（103），所述喷水机（101）的侧面安装有阀门（104），所述阀门（104）的一端连接有连接头（105），所述连接头（105）的一端螺纹连接有密封盖（106），所述密封盖（106）的内侧设置有内装环（113），所述内装环（113）的内侧螺纹连接有过滤盒（110），所述密封盖（106）的侧面固定连接有接水头（107）。
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