立潮半导体科技(江苏无锡)有限公司沈亚南获国家专利权
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龙图腾网获悉立潮半导体科技(江苏无锡)有限公司申请的专利一种PECVD镀膜检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223205462U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422296552.3，技术领域涉及：G01N33/00；该实用新型一种PECVD镀膜检测装置是由沈亚南设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD镀膜检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PECVD镀膜检测装置，包括检测装置和工件支撑组件，所述检测装置包括操作台，所述操作台上安装有支撑组件，所述支撑组件上安装有检测装置本体；所述工件支撑组件包括转动盘，所述转动盘以转动的方式安装于操作台上，所述转动盘内设置有真空腔，所述转动盘上安装有多个第一吸嘴，多个所述第一吸嘴以环形的方式设置，所述转动盘的底部安装有真空管，所述真空管的下端以贯穿的方式安装于操作台上。本实用新型通过设置工件支撑组件对进行检测的工件进行支撑，由于工件支撑组件可以同时对多个工件进行支撑，使得检测装置可以依次对多个工件同步完成检测，工件的切换通过转动盘的转动便可以完成，从而提高了对工件检测的效率。
本实用新型一种PECVD镀膜检测装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD镀膜检测装置，其特征在于，包括： 检测装置，包括操作台，所述操作台上安装有支撑组件，所述支撑组件上安装有检测装置本体； 工件支撑组件，包括转动盘，所述转动盘以转动的方式安装于操作台上，所述转动盘内设置有真空腔，所述转动盘上安装有多个第一吸嘴，多个所述第一吸嘴以环形的方式设置，所述转动盘的底部安装有真空管，所述真空管的下端以贯穿的方式安装于操作台上，且所述真空管的下端置于操作台的下侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人立潮半导体科技(江苏无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国物联网国际创新园E2-201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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