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龙图腾网获悉上海黄达幕墙装饰工程有限公司申请的专利一种集成电路晶圆涂膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223197397U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422284718.X，技术领域涉及：B05C13/02；该实用新型一种集成电路晶圆涂膜装置是由黄莉君;干丹丹;李靖设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成电路晶圆涂膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种集成电路晶圆涂膜装置，属于集成电路晶圆生产技术领域。本实用新型的集成电路晶圆涂膜装置，具有涂层均匀性提升、提高生产效率的优点，通过控制往复式电机便可带动储料箱在螺纹丝杆的行程范围内移动，通过控制直线丝杆模组便可带动储料箱向下从而对放置板上放置的电路晶圆进行涂膜，通过控制电动推杆带动放置板进行左右微量旋转调节，使得光刻胶在晶圆表面能够更加均匀地分布，解决了现有装置涂层厚度不一致的问题，微量调节确保了涂层的均匀性，从而提升了后续工艺的精度和稳定性，相比传统的涂胶方式，该装置能够自动化完成大批量晶圆的涂胶操作，缩短了单片晶圆的涂胶时间，从而满足高产量需求，大幅提升生产效率。

本实用新型一种集成电路晶圆涂膜装置在权利要求书中公布了：1.一种集成电路晶圆涂膜装置，包括工作台1，其特征在于： 所述工作台1上端面装配有两个第一支撑板11且两个第一支撑板11呈平行设置，两个所述第一支撑板11上端一侧装配有一组传动组件2； 所述传动组件2包括往复式电机20，所述往复式电机20输出端连接设有螺纹丝杆21，所述螺纹丝杆21外部啮合滑动设有滑轴套22，所述滑轴套22上端装配有安装板23，所述安装板23上端面装配有一组直线丝杆模组24且直线丝杆模组24呈竖向垂直设置，所述直线丝杆模组24一侧装配有储料箱3，所述储料箱3下端设置有出料管31； 其中一个所述第一支撑板11一侧装配有电动推杆4，所述电动推杆4一端装配有齿条41，所述工作台1上端面装配有第二支撑板12且第二支撑板12位于两个第一支撑板11之间，其中一个所述第一支撑板11与第二支撑板12之间贯穿设有转杆5，所述转杆5一端外部装配有齿轮51且齿轮51与齿条41啮合连接，所述转杆5外部装配有放置板52。

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