深圳市易天自动化设备股份有限公司高军鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市易天自动化设备股份有限公司申请的专利一种多层卡塞晶圆上下料装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206242U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422288588.7，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种多层卡塞晶圆上下料装置是由高军鹏;陈涛;朱远福设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层卡塞晶圆上下料装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种多层卡塞晶圆上下料装置，包括支撑架、滑动板、料盒、紧压气缸和光电传感器，其中，滑动板可以抽拉设置于支撑架上；滑动板设有多个对位挡块，对位挡块之间形成放置区域，料盒设于放置区域内，与滑动板形成可拆卸连接；料盒设有多层卡塞用于分隔晶圆，料盒正上方还设有压紧气缸，压紧气缸的压杆与料盒抵接；滑动板还设有多个通孔，光电传感器一端与滑动板固定连接，另一端贯穿通孔并延伸至料盒下方。本实用新型提出料盒设置多层卡塞分隔晶圆，有效避免晶圆刮花；本实用新型采用光电传感器实时检测晶圆数量，有效提醒及时更换料盒；本实用新型采用对位挡块和压紧气缸配合将料盒可拆卸固定于滑动板上，使料盒固定更稳定。
本实用新型一种多层卡塞晶圆上下料装置在权利要求书中公布了：1.一种多层卡塞晶圆上下料装置，其特征在于，包括： 支撑架，所述支撑架呈水平放置； 滑动板，所述滑动板设于所述支撑架上，所述滑动板设有多个对位挡块和用于放置检测装置的多个通孔； 料盒，所述料盒设于所述滑动板上；所述料盒设有多层用于分隔晶圆的卡塞； 压紧气缸，所述压紧气缸设于所述料盒正上方，所述压紧气缸与所述料盒抵接或远离； 所述检测装置包括光电传感器，所述光电传感器用于检测所述晶圆数量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市易天自动化设备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头社区沙井南环路446号星展广场1栋A座401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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