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无锡琨圣智能装备股份有限公司邵玉林获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡琨圣智能装备股份有限公司申请的专利一种用于硅片花篮的吹风装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223206234U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422257499.6,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种用于硅片花篮的吹风装置是由邵玉林;蒋其铭;瞿鹏飞设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于硅片花篮的吹风装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片生产技术领域,特别涉及一种用于硅片花篮的吹风装置,包括花篮转运架,所述花篮转运架用于置放及转运硅片花篮,所述花篮转运架上设置有风刀,所述风刀出风口朝向置放于所述花篮转运架上的硅片花篮,以用于对花篮转运架上的硅片花篮进行吹风;本实用新型在硅片花篮提升并沥干的过程中,风刀对硅片花篮进行吹风,从而将硅片花篮及硅片上携带的液体吹落至清洗槽中,进而减少硅片花篮及硅片的带液量,以及加速沥干效率,此外,由于风刀对硅片进行吹风,能够减少硅片表面含有的水珠,进而提高硅片花篮转运至烘干箱中的烘干效率。

本实用新型一种用于硅片花篮的吹风装置在权利要求书中公布了:1.一种用于硅片花篮的吹风装置,包括花篮转运架(1),所述花篮转运架(1)用于置放及转运硅片花篮(1001),其特征在于:所述花篮转运架(1)上设置有风刀(2),所述风刀(2)出风口朝向置放于所述花篮转运架(1)上的硅片花篮(1001),以用于对花篮转运架(1)上的硅片花篮(1001)进行吹风。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡琨圣智能装备股份有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路106号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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