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苏试宜特(深圳)检测技术有限公司刘宝露获国家专利权

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龙图腾网获悉苏试宜特(深圳)检测技术有限公司申请的专利用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223206221U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422211014.X,技术领域涉及:H01J37/30;该实用新型用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备是由刘宝露设计研发完成,并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备。聚焦离子束设备包括机台和位于机台上的真空腔室、离子束系统,离子束系统位于真空腔室上方,散热装置包括风冷散热部和水冷散热部,风冷散热部安装在机台上,风冷散热部包括风道和抽风机,风道设有进风口和出风口,出风口朝向离子束系统,进风口远离离子束系统,抽风机安装于进风口处;水冷散热部安装在机台上,包括换热管、循环管、水冷块和循环泵;换热管安装于真空腔室和机台之间;换热管与循环管连通;循环泵和水冷块安装于循环管上;循环泵用于提供冷却水在换热管和循环管内部流动的动力,水冷块用于对流经水冷块的冷却水进行降温。

本实用新型用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备在权利要求书中公布了:1.一种用于聚焦离子束设备的散热装置,聚焦离子束设备包括机台和位于机台上的真空腔室、离子束系统,离子束系统位于真空腔室上方,其特征在于,所述散热装置包括风冷散热部和水冷散热部, 风冷散热部安装在机台上,风冷散热部包括风道和抽风机,风道设有进风口和出风口,出风口朝向离子束系统,进风口远离离子束系统,抽风机安装于进风口处; 水冷散热部安装在机台上,包括换热管、循环管、水冷块和循环泵;换热管安装于真空腔室和机台之间;换热管与循环管连通;循环泵和水冷块安装于循环管上;循环泵用于提供冷却水在换热管和循环管内部流动的动力,水冷块用于对流经水冷块的冷却水进行降温。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏试宜特(深圳)检测技术有限公司,其通讯地址为:518100 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区68区隆昌路10号美生创谷春谷102;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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