苏州首镭激光科技有限公司张晓峰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州首镭激光科技有限公司申请的专利批量碳化硅晶圆打码设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223198277U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422090610.7,技术领域涉及:B23K26/362;该实用新型批量碳化硅晶圆打码设备是由张晓峰设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本批量碳化硅晶圆打码设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种批量碳化硅晶圆打码设备,包括机台、设置在机台上的转运机械手和在所述转运机械手周围沿扇形分布的置料载台、定位检测模组、激光打码模组,所述置料载台设置在所述机台的上料端,包括固定平台和设置在固定平台上的上料仓和下料仓,所述转运机械手包括升降机构、旋转平台、直线模组和机械臂,所述升降机构设置在所述机台上并向机台下方延伸,所述直线模组通过所述旋转平台设置在所述升降机构上,所述机械臂设置在所述直线模组上,所述旋转平台驱动所述机械臂带着待打码晶圆周转于所述置料载台、所述定位检测模组、所述激光打码模组之间。该设备结构简洁、紧凑,体积小,适用于多种尺寸的晶圆打码。
本实用新型批量碳化硅晶圆打码设备在权利要求书中公布了:1.一种批量碳化硅晶圆打码设备,其特征在于:包括机台、设置在机台上的转运机械手和在所述转运机械手周围沿扇形分布的置料载台、定位检测模组、激光打码模组,所述置料载台设置在所述机台的上料端,包括固定平台和设置在固定平台上的上料仓和下料仓,所述转运机械手包括升降机构、旋转平台、直线模组和机械臂,所述升降机构设置在所述机台上并向机台下方延伸,所述直线模组通过所述旋转平台设置在所述升降机构上,所述机械臂设置在所述直线模组上,所述旋转平台驱动所述机械臂带着待打码晶圆周转于所述置料载台、所述定位检测模组、所述激光打码模组之间。
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