长电集成电路(绍兴)有限公司陆洋获国家专利权
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龙图腾网获悉长电集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种平面型喷洒的显影腔体装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223205765U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422052639.6，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种平面型喷洒的显影腔体装置是由陆洋;张梦杰;陈伟;张孝伟设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平面型喷洒的显影腔体装置在说明书摘要公布了：本申请涉及芯片显影装置的技术领域，尤其是涉及一种平面型喷洒的显影腔体装置，包括机台以及升降连接于机台的上盖，所述上盖内升降设置有喷洒板，所述喷洒板的圆面上均布有若干喷头，所述喷洒板在竖直方向的面积不小于机台的工作面，所述上盖下侧转动设置有底封结构。本申请具有以下效果：喷头均布在喷洒板朝向晶圆的一侧，在垂直投影面上，能够将晶圆进行覆盖，通过升降的方式移动至合适的位置，喷洒显影液或漂洗液或气体进行吹拭，与现阶段的喷洒方式相比，能够更快地形成较为均匀的喷液，提高生产效率，同时下方的晶圆可以为转动或者静置的状态；喷液覆盖面完整且持续，避免了亲水性较差胶材疏水导致的铺液不完整而到致开口残胶的发生。
本实用新型一种平面型喷洒的显影腔体装置在权利要求书中公布了：1.一种平面型喷洒的显影腔体装置，包括机台（100）以及升降连接于机台（100）的上盖（111），其特征在于：所述上盖（111）内升降设置有喷洒板（114），所述喷洒板（114）的圆面上均布有若干喷头（116），所述喷洒板（114）在竖直方向的面积不小于机台（100）的工作面，所述上盖（111）下侧转动设置有底封结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长电集成电路(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市临江路500号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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