长电集成电路(绍兴)有限公司陆洋获国家专利权
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龙图腾网获悉长电集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种覆盖式的腔体显影装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223205766U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422052640.9，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种覆盖式的腔体显影装置是由陆洋;张梦杰;陈伟;张孝伟设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种覆盖式的腔体显影装置在说明书摘要公布了：本申请涉及显影装置的技术领域，尤其是涉及一种覆盖式的腔体显影装置，包括机台，所述机台上升降设置有罩体，所述罩体具有若干输送道，所述罩体的底部具有抵接于晶圆的阻挡环，所述罩体具有若干对应于所述输送道的出液口，所述出液口的延伸方向平行于晶圆的上表面。本申请具有以下效果：罩体朝下运动并使得阻挡环抵触在晶圆上侧，晶圆表面与阻挡环形成一个类似液体池的结构，再通过输送道朝出液口输入液体，能够沿晶圆的平面流动至这个液体池内，不需要较多的液体，同时能够保证较好的显影效率。
本实用新型一种覆盖式的腔体显影装置在权利要求书中公布了：1.一种覆盖式的腔体显影装置，包括机台（100），其特征在于：所述机台（100）上升降设置有罩体（111），所述罩体（111）具有若干输送道（112），所述罩体（111）的底部具有抵接于晶圆的阻挡环（120），所述罩体（111）具有若干对应于所述输送道（112）的出液口（113），所述出液口（113）的延伸方向平行于晶圆的上表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长电集成电路(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市临江路500号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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