厦门市俊亦精密机械有限公司陈学亮获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门市俊亦精密机械有限公司申请的专利一种硅片载板加工固定夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206257U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421985114.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种硅片载板加工固定夹具是由陈学亮设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片载板加工固定夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种硅片载板加工固定夹具，所述固定夹具用于固定吸附在吸附平台上的载板，所述载板的边角处均开设有定位槽，所述固定夹具可嵌入于所述定位槽中，通过将朝向互相垂直的纠偏头嵌入于安装在位于载板两侧定位槽中，实现载板四个边角的定位，纠偏头和定位杆为一组一共设置有八个，每两个纠偏头和定位杆分别定位载板的四个边角，可以避免载板偏转，同时球形的纠偏头和第一凹槽可以便于对偏离位置的载板进行定位，不容易发生偏移倾斜的现象，将载板限制在一个较小的范围内，提高负压孔处负压的稳定性。
本实用新型一种硅片载板加工固定夹具在权利要求书中公布了：1.一种硅片载板加工固定夹具，其特征在于：所述固定夹具30用于固定吸附在吸附平台20上的载板10，所述载板10的边角处均开设有定位槽11，所述固定夹具30可嵌入于所述定位槽11中； 所述固定夹具30包括： 成对设置的定位杆31以及安装在所述定位杆31的上端的纠偏头32，其中，所述纠偏头32为球形结构，所述定位杆31为圆柱结构； 所述定位槽11的形状与所述固定夹具30的形状相适配； 所述纠偏头32的圆心偏离于所述定位杆31的圆心，并且所述纠偏头32的圆心与所述定位杆31圆心的延长线为L1，两个所述定位杆31的圆心连接线为L2； 所述L1和L2之间具有锐角夹角α，所述锐角夹角α位于L2的同一侧； 所述定位槽11以所述载板10边角高度线为对称轴对称开设在所述载板10的侧边上。
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