中微半导体设备(上海)股份有限公司蔡孟雷获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利等离子体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206222U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421895114.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型等离子体处理装置是由蔡孟雷;张昭;朱班;张凯设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子体处理装置，包括：反应腔；衬底支撑件，设置在所述反应腔内，用于承载衬底，该衬底支撑件具有矩形主体；由四个侧壁围成的腔室壁；传片口，设在其中一个所述侧壁上，用于传输所述衬底；以及，设置在反应腔内的传片口屏蔽装置，用于在工艺过程中遮挡传片口的尖端，所述传片口屏蔽装置包括：屏蔽板、连接杆以及设置在反应腔外的传动机构；本申请通过采用介电材料制成的屏蔽板遮挡传片口的尖端，使传片口尖端附近的击穿电压强度远高于传片口的尖端处的电场强度，从而使传片口的尖端不易发生尖端放电现象。
本实用新型等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 反应腔； 衬底支撑件，设置在所述反应腔内，用于承载衬底，该衬底支撑件具有矩形主体； 由四个侧壁围成的腔室壁； 传片口，设在其中一个所述侧壁上，用于传输所述衬底； 传片口屏蔽装置，设置在所述反应腔内，用于在工艺过程中遮挡所述传片口的尖端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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