日月新半导体(昆山)有限公司顾佳仪获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种光刻机自清洁抽风管路装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223205764U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421856189.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机自清洁抽风管路装置是由顾佳仪设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机自清洁抽风管路装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻机自清洁技术领域的一种光刻机自清洁抽风管路装置，包括腔体，所述腔体的底部固定安装有连通管，所述连通管的底部一侧固定连接有排风管，所述排风管穿过连通管并与腔体的内部连通，所述排风管内壁设有多个清洁喷头，所述排风管的底部螺纹连接有收集罐，所述排风管和收集罐的接口处的内壁设置有传感器，所述收集罐的中部固定设置有内滤网，所述排风管的内壁设置有挡板，所述挡板设于排风管与收集罐接口处的右侧。本实用新型在排风管道内新增清洁喷头，可实现管壁自我清洁，使用可拆卸收集罐收集管壁上清洗下来的光刻胶悬浮颗粒物，可避免排风管堵塞，减少光刻胶涂布缺陷的情况发生，可应用于光刻胶涂布机抽风管路设计领域。
本实用新型一种光刻机自清洁抽风管路装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机自清洁抽风管路装置，包括腔体1，其特征在于：所述腔体1的底部固定安装有连通管2，所述连通管2的底部一侧固定连接有排风管10，所述排风管10穿过连通管2并与腔体1的内部连通，所述排风管10内壁设有多个清洁喷头11，所述排风管10的底部螺纹连接有收集罐12，所述排风管10和收集罐12的接口处的内壁设置有传感器13，所述收集罐12的中部固定设置有内滤网14，所述排风管10的内壁设置有挡板15，所述挡板15设于排风管10与收集罐12接口处的右侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人日月新半导体(昆山)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江南路497号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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