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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆传送装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118824915B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410853120.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆传送装置及其控制方法是由涂乐义;王兆祥;梁洁;桂智谦;谭小龙设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传送装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本说明书实施例公开了一种晶圆传送装置及其控制方法，晶圆传送机器人，所述晶圆传送机器人包括多个控制轴和至少两层传送手指模组，至少两层所述传送手指模组依次活动设置在所述控制轴的执行末端，多个所述控制轴用于控制所述传送手指模组的移动；每层所述传送手指模组包括至少一个晶圆传送刀片。

本发明授权一种晶圆传送装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送方法，其特征在于，通过晶圆传送装置传送，其中所述晶圆传送装置包括： 晶圆传送机器人，所述晶圆传送机器人包括多个控制轴和至少两层传送手指模组，至少两层所述传送手指模组依次活动设置在所述控制轴的执行末端，多个所述控制轴用于控制所述传送手指模组的移动； 其中多个所述控制轴包括： 用于控制所述传送手指模组在水平方向传送和转动的第一控制轴、第二控制轴和第三控制轴； 用于控制两层传送手指模组在水平方向开合的第四控制轴；用于控制所述传送手指模组在垂直方向平移的第五控制轴； 每层所述传送手指模组包括至少一个晶圆传送刀片；其中，至少一层所述传送手指模组包括2或X个所述晶圆传送刀片，所述X≥3，还有一层所述传送手指模组包括1个所述晶圆传送刀片；其中包括1个所述晶圆传送刀片的一层所述传送手指模组，通过第四控制轴被可相对活动地连接于，包括2或X个所述晶圆传送刀片的那一层所述传送手指模组，以使包括1个所述晶圆传送刀片的一层所述传送手指模组，能够相对，包括2或X个所述晶圆传送刀片的那一层所述传送手指模组活动； 当晶圆盒中的晶圆完整时，各层所述传送手指模组同时伸入晶圆盒中进行晶圆的抓取和传送； 当晶圆盒中出现晶圆缺失时，根据缺失晶圆在晶圆盒中的位置，以及所述晶圆传送刀片的数量，调整包括1个所述晶圆传送刀片的一层所述传送手指模组，相对包括2或X个所述晶圆传送刀片的所述传送手指模组活动，使得包括1个所述晶圆传送刀片的一层所述传送手指模组和包括2或X个所述晶圆传送刀片的所述传送手指模组依次地伸入晶圆盒中进行晶圆的抓取和传送。

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