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龙图腾网获悉苏州鑫达半导体科技有限公司申请的专利一种基于半导体冷却方式的晶圆老化箱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223205505U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421507286.8，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型一种基于半导体冷却方式的晶圆老化箱是由张育嘉设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于半导体冷却方式的晶圆老化箱在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于半导体冷却方式的晶圆老化箱，涉及晶圆测试技术领域，包括老化测试组件，所述老化测试组件包括老化箱本体，所述老化箱本体的内部开设有放置腔，所述老化箱本体的背表面镶嵌安装有半导体制冷器，所述老化箱本体的内部且位于放置腔的内腔分别固定安装有电磁铁和电加热板。本实用新型的有益效果为通过设置晶圆承载组件，具有旋转均化的优点，能够在减速电机驱动下，使得多个活动架同步转动，以使得侧挡板之间的晶圆圆周转动，同时可控制电磁铁得电，在磁环配合下，使得位移环灵活上下位移，进而可使得多个晶圆放置倾角改变，在高温测试时，晶圆受热均匀性更佳，更符合实际测试需求。

本实用新型一种基于半导体冷却方式的晶圆老化箱在权利要求书中公布了：1.一种基于半导体冷却方式的晶圆老化箱，其特征在于：包括， 老化测试组件100，所述老化测试组件100包括老化箱本体101，所述老化箱本体101的内部开设有放置腔101a，所述老化箱本体101的背表面镶嵌安装有半导体制冷器101b，所述老化箱本体101的内部且位于放置腔101a的内腔分别固定安装有电磁铁101c和电加热板101d，所述老化箱本体101的内部且位于放置腔101a的内腔镶嵌安装有减速电机101f，所述减速电机101f的输出端固定安装有旋转盘101e； 晶圆承载组件200，所述晶圆承载组件200包括固定承载件201和活动变角件202，所述固定承载件201包括定位柱201a，所述定位柱201a表面的顶部和底部均套设安装有辅助盘201b，两个辅助盘201b相对的一侧固定连接有竖杆201c，所述竖杆201c的表面固定套设有固定架201d；所述活动变角件202包括位移环202a，所述位移环202a的外圈固定连接有连接座202b，所述连接座202b的表面活动套设有活动架202e。

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