西安奕斯伟材料科技股份有限公司李安杰获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利调整晶圆的参数的方法、装置、设备及计算机存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117878003B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410052011.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权调整晶圆的参数的方法、装置、设备及计算机存储介质是由李安杰设计研发完成，并于2024-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本调整晶圆的参数的方法、装置、设备及计算机存储介质在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种调整晶圆的参数的方法、装置、设备及计算机存储介质；所述方法包括：按照设定的采样方法在待测晶圆的表面上采集多个采样点；基于所述待测晶圆的基准高度，获取所述多个采样点中的每个采样点所对应的高度变化数据；基于所述每个采样点所对应的高度变化数据，获取所述每个采样点处的高度梯度；基于所有采样点处的高度梯度，将所述待测晶圆旋转设定的角度。
本发明授权调整晶圆的参数的方法、装置、设备及计算机存储介质在权利要求书中公布了：1.一种调整晶圆的参数的方法，其特征在于，所述方法包括： 按照设定的采样方法在待测晶圆的表面上采集多个采样点； 基于所述待测晶圆的基准高度，获取所述多个采样点中的每个采样点所对应的高度变化数据； 基于所述每个采样点所对应的高度变化数据，获取所述每个采样点处的高度梯度；其中，所述每个采样点处的高度梯度的方向表征对应的采样点的实际高度变化最快的方向； 当基于所有采样点处的高度梯度判定所述待测晶圆的表面出现晶面转变时，旋转所述待测晶圆以使所述待测晶圆保持预设的加工角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司，其通讯地址为：710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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