中国科学院金属研究所张峰获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117568759B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311292962.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法是由张峰;李康;刘畅;何桂枝;成会明设计研发完成，并于2023-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及纳米材料的可控制备领域，具体为一种快速可控制备超细金属纳米晶纳米碳复合薄膜的方法。采用离子束溅射或磁控溅射等物理沉积方法在纳米碳薄膜上担载金属纳米颗粒，在正压高于标准大气压0.01～0.2MPa、含微量氧气氧气体积分数0.001％～0.2％的惰性气氛中快速加热及冷却升降温速率为100～300℃s，使金属纳米颗粒形成具有特定取向的纳米晶，获得超细直径＜3nm金属纳米晶纯度＞95％单分散于纳米碳的复合薄膜上。通过调控沉积条件和快速加热的升降温速率，调节金属纳米颗粒的分散度和尺寸，获得直径和分散度可调的金属纳米晶。特别在单壁碳纳米管薄膜上，以管束诱导可使纳米晶形成大长径比的金属纳米晶。
本发明授权一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种快速可控制备超细金属纳米晶纳米碳复合薄膜的方法，其特征在于，以物理沉积方法的离子束溅射或磁控溅射在纳米碳薄膜上沉积金属纳米颗粒，对其在高于标准大气压0.01~0.2MPa正压、氧气体积分数0.001%~0.2%含微量氧气的惰性气氛中快速加热及冷却，升降温速率为100~300℃s，使金属纳米颗粒形成高纯度、超细、表面洁净的纳米晶，获得金属纳米晶单分散于纳米碳薄膜的复合薄膜；通过调控物理沉积条件，获得密度和尺寸可调的金属纳米颗粒，使纳米晶的尺寸和分散度在一定范围内可调，溅射功率为1~50W，沉积时间为10~500s，快速加热温度为700~2200℃，制备尺寸在2~10nm范围内可调的单分散金属纳米晶，且纳米晶纯度高于95%。
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