上海交通大学张永获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利基于拓扑慢光波导的薄膜铌酸锂电光调制器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117031851B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310915921.X，技术领域涉及：G02F1/21；该发明授权基于拓扑慢光波导的薄膜铌酸锂电光调制器是由张永;沈健;张磊;苏翼凯设计研发完成，并于2023-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于拓扑慢光波导的薄膜铌酸锂电光调制器在说明书摘要公布了：一种基于拓扑慢光波导的薄膜铌酸锂电光调制器，包括：分段式电容型慢波电极和位于其上的一对平行设置的拓扑慢光波导，其中：拓扑慢光波导的两端分别设有多模干涉仪，本发明通过拓扑慢光效应的引入，增强光与介质的相互作用，增大光传输的群折射率，大大提高调制器的调制效率，另一方面，由于拓扑慢光效应引入导致电光速度失配，使得关键指标调制带宽受限。因此提出使用分段式电容型慢波电极，增大微波折射率，实现电光速度和阻抗的匹配，获得超大的调制带宽。
本发明授权基于拓扑慢光波导的薄膜铌酸锂电光调制器在权利要求书中公布了：1.一种基于拓扑慢光波导的电光调制器，其特征在于，包括：一对平行设置的拓扑慢光波导，每一条拓扑慢光波导两侧设有分段式电容型慢波电极，其中：拓扑慢光波导的两端分别设有多模干涉仪； 所述的多模干涉仪包括：长方形多模干涉区以及分别设置于其两端的输入波导和输出波导； 所述的拓扑慢光波导结构包括基于经典SSH模型的周期性空气孔结构，在一个周期内存在两个尺寸大小不一的空气孔以调控光的群折射率大小； 所述的拓扑慢光波导包括：上包层、混合单模波导以及设置于混合单模波导中的周期性方形空气孔结构，其中：方形空气孔结构的每个周期包括两个大小不同的方形空气孔； 所述的混合单模波导是通过在铌酸锂绝缘氧化硅平台LNOI上沉积氮化硅形成的，再通过刻蚀氮化硅得到拓扑慢光波导。
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