买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉郑州磨料磨具磨削研究所有限公司申请的专利一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116728260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310696012.1，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法是由王宁昌;朱建辉;邵俊永;徐钰淳;师超钰设计研发完成，并于2023-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开的一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法，根据加工所处的阶段，即粗抛或者精抛，在不影响反应条件的前提下，优先考虑加工质量或者加工效率，参数调整的时候考虑先后顺序，解决了大尺寸晶圆加工不能同时测量加工力和加工温度的难题，进而解决了在端面抛光中以加工温度为约束的情况下，在保证抛光质量的同时，进一步提高了抛光的效率。

本发明授权一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法，其特征在于，抛光装置包括抛光盘、抛光夹具、温度传感器以及安装在机床主轴上的测力仪，且抛光夹具通过T型夹具固定在测力仪上，而抛光夹具和T型夹具上相应开设有用于穿过温度传感器测温单元的安装孔，测温单元与待加工样品直接接触，且温度传感器与机床的控制系统控制连接； 控制方法包括以下步骤： 1将金刚片粘贴在夹具上，夹具安装在无线旋转测力仪上，旋转测力仪安装在机床主轴上； 2将温度传感器内置在机床主轴上并随机床主轴的转子同步转动，而温度传感器的感温单元设于夹具两侧直接与待抛光的金刚石片接触，且通过无线信号传输至机床的控制系统； 3通过单因素实验进行抛光工艺探索，记录载荷、温度、砂轮转速和材料去除率，得出抛光温度随着载荷和抛光转速改变的变化规律，并定义抛光温度最优区间的上限为T1，最优区间的下限为T0； 4通过控制系统监控抛光温度： a、当抛光温度在T0和T1之间时，抛光压力和转速不变； b、粗抛阶段： 当温度低于T0时，先提高压力然后根据升温情况提高转速， 加工转速稳定后，如果抛光温度稳定仍低于T0，则重复以上步骤，直至抛光温度在T0和T1之间； 随着磨削过程的进行，砂轮磨粒消耗，锋利度降低，磨削温度升高， 当温度高于T1时，通过机床控制系统先降低转速然后根据降温情况再降低压力，保证材料去除率； 抛光压力稳定后，如果抛光温度稳定高于T1，则重复以上步骤，直至抛光温度在T0和T1之间； c、精抛阶段： 当温度低于T0时，先提高转速然后根据升温情况降低抛光压力， 抛光压力稳定后，如果抛光温度稳定仍低于T0，则重复以上步骤，直至抛光温度在T0和T1之间； 随着磨削过程的进行，砂轮磨粒消耗，锋利度降低，磨削温度升高， 当温度高于T1时，通过机床控制系统先降低抛光压力然后根据降温情况再提高转速，保证加工精度； 转速稳定后，如果抛光温度稳定高于T1，则重复以上步骤，直至抛光温度在T0和T1之间； 5抛光每隔1-4小时停机查看,当待加工样品整个表面与抛光盘接触时,检测其表面的粗糙度, 若粗糙度不满足指标要求,则重复步骤4,直至满足指标要求； 如粗糙度满足指标要求,则结束抛光,将样品从抛光夹具上取下。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人郑州磨料磨具磨削研究所有限公司，其通讯地址为：450001 河南省郑州市高新区梧桐街121号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。