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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利温控装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116581058B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310483715.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权温控装置及方法是由靳李富;曹小康;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本温控装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种温控装置及方法，包括：第一储液箱和第二储液箱通过第一三通阀和第二三通阀并联；确定刻蚀机的工作状态；在空载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用制冷单元对第二储液箱中的冷却液进行降温；在瞬间大负载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用循环冷却主回路以及第二储液箱中存储的冷却液进行控温。本发明通过在刻蚀机处于空载状态时，利用循环冷却支路存储制冷单元所制造的多余冷量，当刻蚀机处于瞬间大负载状态时，则通过控制三通阀开合释放循环冷却支路中存储的冷量，以结合循环冷却主回路中的冷却液，共同对刻蚀温控腔进行控温，减少温控装置的能耗浪费和换热负荷，提高温控装置的温控精度，保证刻蚀机工作温度的稳定性。

本发明授权温控装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种温控装置，其特征在于，包括：循环冷却主回路、循环冷却支路、用于对所述循环冷却主回路中的冷却液进行降温的制冷单元，以及控制器； 所述循环冷却主回路包括第一储液箱，所述循环冷却支路包括第二储液箱；所述第一储液箱和所述第二储液箱通过第一三通阀和第二三通阀并联； 所述控制器获取刻蚀机的刻蚀温控腔向所述第一储液箱回流的连接管道中冷却液的回口温度，以基于所述回口温度确定所述刻蚀机的工作状态； 所述控制器在确定所述工作状态为空载状态时，通过控制所述第一三通阀和所述第二三通阀的开合状态，仅利用所述循环冷却主回路对所述刻蚀温控腔进行控温，并利用所述制冷单元对所述循环冷却支路中的第二储液箱中存储的冷却液进行降温； 所述控制器在确定所述工作状态为瞬间大负载状态时，通过控制所述第一三通阀和所述第二三通阀的开合状态，利用所述循环冷却主回路以及降温后的所述第二储液箱中存储的冷却液，共同对所述刻蚀温控腔进行控温。

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