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龙图腾网获悉北京兆维电子(集团)有限责任公司申请的专利一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116519595B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310468962.9，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置是由李楠;刘欣;王爽;王馨莹;林涛;李军;张朝前设计研发完成，并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，包括照明单元、无限远成像单元和相机单元；所述照明单元包括光源，从光源至检测目标产品的光路方向依次设有第一透镜、可调光阑、第二透镜和滤光片轮；所述无限远成像单元包括成像筒镜和无限远显微物镜，从检测目标产品至相机单元的光路上依次设有所述无限远显微物镜和成像筒镜。采用本发明，能够在非接触的情况下对晶圆表面进行快速扫描，通过高分辨率图像分析，识别出晶圆表面的缺陷，包括裂纹、划痕、斑点、气泡等，提高了晶圆宏观缺陷的检测速率和准确率。

本发明授权一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：包括照明单元（1）、无限远成像单元（2）和相机单元（3），所述照明单元（1）与检测目标产品（4）对应布置并向检测目标产品（4）上照射光线，所述无限远成像单元（2）设于相机单元（3）与检测目标产品（4）之间，所述检测目标产品（4）反射的光线经过无限远成像单元（2）并成像于相机单元（3）； 所述照明单元（1）包括光源（11），从光源（11）至检测目标产品（4）的光路方向依次设有第一透镜（12）、可调光阑（13）、第二透镜（14）和滤光片轮（15）； 所述无限远成像单元（2）包括成像筒镜（22）和无限远显微物镜（21），从检测目标产品（4）至相机单元（3）的光路上依次设有所述无限远显微物镜（21）和成像筒镜（22）； 所述滤光片轮（15）至检测目标产品（4）的光路上或检测目标产品（4）至无限远显微物镜（21）的光路上设有第一偏振片（23），所述无限远显微物镜（21）至成像筒镜（22）的光路上设有第二偏振片（24），第一偏振片（23）与第二偏振片（24）相互呈正交状态，第一偏振片（23）至第二偏振片（24）之间的光路上设有微分干涉棱镜（25）； 所述相机单元（3）包括直线运动机构（31）、黑白相机（32）和彩色相机（33），黑白相机（32）和彩色相机（33）设于直线运动机构（31）背离成像筒镜（22）一侧；直线运动机构（31）的运动方向垂直于成像筒镜（22）的光路方向，直线运动机构（31）的移动端沿自身运动方向包括三个工位，其中第一工位空置，第二工位装有第二分束镜（34），第三工位装有第一反射镜（35）；当第二工位正对成像筒镜（22）时，黑白相机（32）、彩色相机（33）中任一个正对成像筒镜（22）的光路，另一个正对第二分束镜（34）和第一反射镜（35）的反射光路。

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