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珠海迈时光电科技有限公司熊欣获国家专利权

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龙图腾网获悉珠海迈时光电科技有限公司申请的专利一种自动精准消除白光干涉仪检测数据的噪点的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116222427B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310223776.9,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种自动精准消除白光干涉仪检测数据的噪点的方法是由熊欣;张为国;詹永汉;邓晓洲;刘文明;胡欣雨;杜春雷设计研发完成,并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种自动精准消除白光干涉仪检测数据的噪点的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种自动精准消除白光干涉仪检测数据的噪点的方法,涉及超精密加工检测技术领域。该方法包括:采集微结构样品面型的2D截面数据,获取所述2D截面数据中的单周期范围内数据;检测所述单周期范围内数据,选取有效区间,使其检测数据的中心对齐原点;确定所述样品面型,根据所述样品面型选用曲线分析法;根据所述曲线分析法对所述检测数据进行计算,查找并删除噪点;输出无噪点数据。本发明自动准确地查找并删除噪点,避免了人工操作带来的误差和成本,极大提高了测试分析的工作效率;本发明从实际应用场景出发,未使用高通滤波等复杂费时的手段,避免了信号转换繁琐的计算过程,精准去除噪点的同时最大限度地保留了原始真实数据。

本发明授权一种自动精准消除白光干涉仪检测数据的噪点的方法在权利要求书中公布了:1.一种自动精准消除白光干涉仪检测数据的噪点的方法,其特征在于:包括以下步骤: 采集微结构样品面型的2D截面数据,获取所述2D截面数据中的单周期范围内数据; 检测所述单周期范围内数据,选取有效区间,使所述有效区间内的检测数据的中心对齐原点; 确定所述样品面型,根据所述样品面型选用曲线分析法; 根据所述曲线分析法对所述检测数据进行计算,查找并删除噪点; 输出无噪点数据; 所述样品面型包括平面面型和曲面面型;所述曲线分析法包括斜率曲线分析法和误差曲线分析法; 其中,所述斜率曲线分析法应用于所述平面面型,具体包括以下步骤: S1,计算所述检测数据的斜率曲线,获取所述斜率曲线的平均值和标准差; S2,在所述斜率曲线中查找并删除首位噪点,重新计算所述斜率曲线; S3,判断所述斜率曲线的平均值是否收敛于固定值,若收敛于固定值,则执行步骤S4;否则,重复执行步骤S2; S4,结束循环; 所述误差曲线分析法应用于所述曲面面型,具体包括以下步骤: S1,拟合计算出最接近原曲线的多项式,获取拟合曲线; S2,获取所述原曲线与所述拟合曲线之间的误差曲线,分析误差曲线数据; S3,根据所述误差曲线数据计算误差曲线,查找并删除首位噪点,重新计算所述误差曲线; S4,判断线性归一化后所述误差曲线在[0,1]区间的积分面积;若所述积分面积大于0.1,则执行步骤S5;否则,重复执行步骤S3; S5,结束循环。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海迈时光电科技有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市香洲区珠海大道4333号7栋1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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