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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利灰度比检查获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116645317B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310152831.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权灰度比检查是由E·S·托夫;U·阿布拉哈莫夫设计研发完成，并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本灰度比检查在说明书摘要公布了：一种用于灰度比检查的方法，包括：获取电子图像，该电子图像包括样本的感兴趣区域ROI的ROI像素和样本的参考区域的参考像素，其中ROI像素是通过用电子束照亮ROI获取的，并且参考像素是在没有用电子束照亮参考区域的情况下获取的；基于参考像素中的至少一些参考像素的值来计算参考暗水平值；响应于参考暗水平值，计算与ROI像素的第一子集相关的第一灰度值和与ROI像素的第二子集相关的第二灰度值之间的灰度比；确定灰度比是否指示缺陷；以及在确定灰度比指示缺陷之后生成缺陷信息。

本发明授权灰度比检查在权利要求书中公布了：1.一种用于灰度比检查的方法，所述方法包括： a获取一电子图像，所述电子图像包括样本的感兴趣区域ROI的ROI像素和所述样本的参考区域的参考像素，其中所述ROI像素是通过用电子束照亮所述ROI获取的，并且所述参考像素是在没有用电子束照亮所述参考区域的情况下获取的； b基于所述参考像素中的至少一些参考像素的值来计算参考暗水平值； c计算与所述ROI像素的第一子集相关的第一灰度值和与所述ROI像素的第二子集相关的第二灰度值之间的灰度比，其中计算所述灰度比包括：i通过对所述ROI像素的所述第一子集中的至少一些的灰度进行平均来计算所述第一灰度值，ii通过对所述ROI像素的所述第二子集中的至少一些的灰度进行平均来计算所述第二灰度值，iii从所述第一灰度值减去所述参考暗水平值以提供第一暗水平补偿值，iv从所述第二灰度值减去所述参考暗水平值以提供第二暗水平补偿值，以及v将所述第一暗水平补偿值除以所述第二暗水平补偿值； d确定所述灰度比是否指示缺陷；以及 e在确定所述灰度比指示所述缺陷之后生成缺陷信息， 其中所述ROI像素的所述第一子集是从所述ROI的第一子区域获得的，所述ROI像素的所述第二子集是从所述ROI的第二子区域获得的,所述第一子区域和所述第二子区域是与定位在所述ROI内的结构元件相关的区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司，其通讯地址为：以色列瑞哈佛特市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。