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龙图腾网获悉复旦大学申请的专利一种紧凑式多轴精密运动台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116107175B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310137050.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种紧凑式多轴精密运动台是由徐云浪;阮智伟;郭亮;杨晓峰设计研发完成，并于2023-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种紧凑式多轴精密运动台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种紧凑式多轴精密运动台；其自下而上包括一级运动台、二级运动台和三级运动台。其中一级运动台为x轴直线运动台，二级运动台为Rx旋转运动台，三级运动台为Y、Z直线运动台和Rz旋转运动台。本发明的运动台具有结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强的特点，布置合适致动器作为驱动使得在各运动轴上具有高运动精度和高鲁棒性，同时具有低功耗、无磁低热和高可靠性。

本发明授权一种紧凑式多轴精密运动台在权利要求书中公布了：1.一种紧凑式多轴精密运动台，其特征在于，包括一级运动台（1）、二级运动台（2）和三级运动台（3），同时包括底部框架（11）、中部框架（13）、旋转框架（22）和顶部框架（34）； 一级运动台（1）包括两条X向直线导轨（121）、（122），X向直线驱动模块（16）和X向陶瓷块（17）；X向直线导轨（121）、（122）为交叉滚子导轨，每套交叉滚子导轨中的两幅导轨分别和中部框架（13）和底部框架（11）固定连接，两幅导轨之间用交叉滚子连接，以实现中部框架（13）和底部框架（11）之间的滑动连接，X向陶瓷块（17）固定安装在中部框架（13）的底部，X向直线驱动模块（16）固定安装在底部框架（11）上，X向直线驱动模块（16）与X向陶瓷块（17）之间通过接触摩擦实现中部框架（13）相对于底部框架11在X方向上的移动； 二级运动台（2）包括旋转支架（141）、（142），两个旋转支座（4），Rx向旋转驱动块（211）、（212），两条内弧型导轨（15），两条外弧型导轨（24）和旋转陶瓷块（231）、（232）；旋转支架（141）、（142）与中部框架（13）固定连接，旋转支架（141）、（142）上固定安装两条内弧型导轨（15），旋转陶瓷块（231）、（232）和旋转框架（22）固定连接，旋转陶瓷块（231）、（232）上安装两条外弧型导轨（24），两条内弧型导轨（15）和两条外弧型导轨（24）之间通过交叉辊子安装，形成两套交叉滚子导轨，使得内弧型导轨（15）和外弧型导轨（24）之间形成滑动连接；旋转支座（4）安装在中部框架（13）的两侧，Rx向旋转驱动模块（211）、（212）分别安装在旋转支座（4）上，Rx向旋转驱动模块（211）、（212）分别和旋转陶瓷块（231）、（232）之间接触摩擦实现旋转框架（22）相对于中部框架（13）在Rx方向的弧形旋转； 三级运动台（3）包括第一Y向直线内导轨（251）、（252），第二Y向直线内导轨（391）、（392），Y向直线驱动模块（31），Y向陶瓷块（222），Z向直线导轨（35），Z向运动滑块（36），Z向直线驱动模块（32），Z向陶瓷块，弹簧牵引机构（37）和Rz向旋转驱动模块（33）； Y向直线内导轨（251）、（252）和Y向陶瓷块（222）安装在旋转框架（22）上，Y向直线内导轨（391）、（392）和Y向直线驱动模块（31）安装在顶部框架（34）上；Y向直线内导轨（251）、（252）和Y向直线内导轨（391）、（392）之间通过交叉辊子连接，形成两套交叉滚子导轨，使得旋转框架（22）和顶部框架（34）之间形成滑动连接，Y向直线驱动模块（31）与Y向陶瓷块（222）之间通过接触摩擦实现顶部框架（34）相对于旋转框架（22）在Y方向的移动； Z向直线导轨（35）和Z向直线驱动模块（32）安装在顶部框架（34）上；Z向直线导轨（35）上安装有Z向运动滑块（36），Z向运动滑块（36）上安装Z向陶瓷块和Rz向旋转驱动模块（33），Z向直线驱动模块（32）和Z向陶瓷块之间通过接触摩擦实现Z向运动滑块（36）相对于顶部框架（34）在Z方向的移动，弹簧牵引机构（37）和Z向运动滑块（36）相连，弹簧牵引机构（37）的出力方向与Z向运动滑块（36）运动方向平行，防止Z向运动滑块（36）发生偏摆或卡死，Rz向旋转驱动模块（33）为Rz向旋转电机；其中： 内弧型导轨（15）由两段小弧形导轨（151）（152）组成；顶部框架（34）上还布置有Z向限位块（345）。

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