广东省大湾区集成电路与系统应用研究院仝怡获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利一种套刻误差补偿模型参数配置方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115933333B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310088349.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种套刻误差补偿模型参数配置方法及装置是由仝怡;韦亚一;张利斌设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻误差补偿模型参数配置方法及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种套刻误差补偿模型参数配置方法及装置，根据预设的参数数量选择套刻误差补偿模型中的模型参数，获得配置后的套刻误差补偿模型。对套刻误差量测数据、配置后的模型和配置后的模型的参数值进行计算，以获取表征量，并将表征量和套刻误差量测数据进行求差处理，获得表征残值。将表征残值进行归一化处理，获得配置后模型的评价参数。根据预设的参数数量选择不同的模型参数，以获取配置后的模型的集合，并对配置后的模型的集合进行迭代处理，获得评价参数集合。根据评价参数集合中最小的评价参数，获得优化后的套刻误差补偿模型。评价参数最小的模型参数配置最优，针对性的提高了模型的补偿精度。
本发明授权一种套刻误差补偿模型参数配置方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种套刻误差补偿模型参数配置方法，其特征在于，所述方法包括： 根据预设的参数数量选择套刻误差补偿模型中的模型参数，获得配置后的套刻误差补偿模型； 对套刻误差量测数据、所述配置后的套刻误差补偿模型和所述配置后的套刻误差补偿模型的参数值进行计算，以获取所述配置后的套刻误差补偿模型的表征量，并将所述套刻误差量测数据和所述表征量进行求差处理，获得表征残值； 对所述表征残值进行归一化处理，获得所述配置后的套刻误差补偿模型的评价参数； 根据预设的参数数量选择不同的所述模型参数，以获取所述配置后的套刻误差补偿模型的集合，并对所述配置后的套刻误差补偿模型的集合进行迭代处理，获得所述配置后的套刻误差补偿模型的评价参数集合； 根据所述评价参数集合中最小的评价参数，获得优化后的套刻误差补偿模型。
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