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北京东方计量测试研究所杨传森获国家专利权

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龙图腾网获悉北京东方计量测试研究所申请的专利密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116046245B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310017768.9,技术领域涉及:G01L9/00;该发明授权密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法是由杨传森;卢耀文;陈千睿;吴端;陈静;陈俊儒;宋春尧;郭宇扬设计研发完成,并于2023-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法,所述装置包括:取样腔,所述取样腔内设置有样品夹具;标准体积室,与所述取样腔通过管路连接;穿刺机构,设置于所述取样腔上;真空计,与所述取样腔通过管路连接;分子泵组,与所述取样腔通过管路连接;充气装置,与所述取样腔通过管路连接。本发明可有效提高测量密封真空电子器件内部压力的精确度。

本发明授权密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种密封真空电子器件内部压力的测量方法,利用密封真空电子器件内部压力的测量装置实现,其特征在于,所述测量装置包括: 取样腔1,所述取样腔1内设置有样品夹具; 标准体积室2,与所述取样腔1通过管路连接; 穿刺机构12,设置于所述取样腔1上; 真空计13,与所述取样腔1通过管路连接; 分子泵组17,与所述取样腔1通过管路连接; 充气装置19,与所述取样腔1通过管路连接; 所述测量方法包括以下步骤: S100,将待测样品固定于所述样品夹具上,并连通所述取样腔1和所述标准体积室2,对所述取样腔1和所述标准体积室2抽真空,再通过所述充气装置19向处于真空状态的所述取样腔1和所述标准体积室2内充入标准气体,记录所述取样腔1和所述标准体积室2的第一压强P1; S200,隔断所述取样腔1和所述标准体积室2,对所述取样腔1抽真空,再连通所述取样腔1和所述标准体积室2,记录所述取样腔1和所述标准体积室2的第二压强P2; S300,对所述取样腔1和所述标准体积室2抽真空,再通过所述充气装置19向处于真空状态的所述取样腔1和所述标准体积室2内充入标准气体,记录所述取样腔1和所述标准体积室2的第三压强P3; S400,隔断所述取样腔1和所述标准体积室2,对所述取样腔1抽真空,再通过所述穿刺机构12击碎所述待测样品,记录所述取样腔1的第四压强P4; S500,对所述取样腔1抽真空,再连通所述取样腔1和所述标准体积室2,记录所述取样腔1和所述标准体积室2的第五压强P5; S600,根据所述取样腔1的容积V1、所述标准体积室2的容积V2、第一压强P1、第二压强P2、第三压强P3、第四压强P4和第五压强P5确定所述待测样品的内部压力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京东方计量测试研究所,其通讯地址为:100086 北京市海淀区知春路82号1001室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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