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龙图腾网获悉南京工程学院申请的专利用于原子层沉积金属硫化物的反应残余物循环再利用方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116145107B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310001770.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于原子层沉积金属硫化物的反应残余物循环再利用方法及装置是由谷蓝翔;黄亚洲;邵银峰;沈家伟;陈玉蒙设计研发完成，并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于原子层沉积金属硫化物的反应残余物循环再利用方法及装置在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种用于原子层沉积金属硫化物的反应残余物循环再利用方法及装置，涉及微纳米制造技术领域，解决了原子层沉积金属硫化物过程中，有害反应残余物的循环再利用问题。本发明包括气动阀V3、冷凝吸收装置、溶解吸收装置Ⅰ、干燥装置Ⅰ、真空泵、气动阀V5、储气装置Ⅰ、气动阀V7、减压阀V11依次连接，组成处理线路Ⅰ，用于回收处理原子层沉积金属硫化物的金属源反应残余物；气动阀V4、溶解吸收装置Ⅱ、干燥装置Ⅱ、真空泵、气动阀V6、储气装置Ⅱ、气动阀V8、减压阀V22依次连接，组成处理线路Ⅱ，用于回收处理原子层沉积金属硫化物的硫化氢源反应残余物。

本发明授权用于原子层沉积金属硫化物的反应残余物循环再利用方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于原子层沉积金属硫化物的反应残余物循环再利用方法，其特征在于，所述方法包括：在处理线路Ⅰ上进行的步骤S1至步骤S3，和在处理线路Ⅱ上进行的步骤S4至步骤S6； 步骤S1，若选择所述处理线路Ⅰ，则气动阀V1（23）打开使得金属源（24）送入反应腔体（2），同时，气动阀V35和气动阀V514开启，并将气动阀V46、气动阀V616、气动阀V74和气动阀V818关闭，使得金属源反应残余物、盐酸HCl和载气进入所述处理线路Ⅰ； 步骤S2，通过冷凝吸收装置（7）对金属源反应残余物中的金属卤化物进行冷凝回收，通过溶解吸收装置Ⅰ（10）对盐酸HCl进行中和吸收，剩余的载气通过干燥装置Ⅰ（11）进行干燥过滤； 步骤S3，干燥过滤后的载气，经真空泵（13）泵入储气装置Ⅰ（15）中储存； 步骤S4，若选择所述处理线路Ⅱ，则气动阀V1（23）关闭且气动阀V2（20）打开使得硫化氢源（21）送入反应腔体（2），同时，气动阀V35和气动阀V514关闭，气动阀V46和气动阀V616开启，使得硫化氢源反应残余物、盐酸HCl和载气，进入处理线路Ⅱ； 步骤S5，盐酸HCl与溶解吸收装置Ⅱ（9）中的溶液，在加热装置（8）加热下，反应生成硫化氢；之后，将硫化氢和载气通过干燥装置Ⅱ（12）进行干燥； 步骤S6，干燥过滤后的硫化氢和载气，经真空泵（13）泵入储气装置Ⅱ（17）进行存储； 还包括：当需要使用储气装置Ⅰ（15）中的载气时，打开气动阀V7（4），根据原子层沉积过程中金属源路的压力，设置减压阀V11（3）输出压力，将储气装置Ⅰ（15）的载气输送到金属源路中； 当需要使用储气装置Ⅱ（17）中的硫化氢和载气时，根据原子层沉积过程中硫化氢源路的压力，设置减压阀V22（19）输出压力，将储气装置Ⅱ（17）中的硫化氢、载气输送到硫化氢源路中； 由气动阀V35、冷凝吸收装置（7）、溶解吸收装置Ⅰ（10）、干燥装置Ⅰ（11）、真空泵（13）、气动阀V514、储气装置Ⅰ（15）、气动阀V74、减压阀V11（3）依次通过输气管连接，并组成处理线路Ⅰ； 由气动阀V46、溶解吸收装置Ⅱ（9）、干燥装置Ⅱ（12）、真空泵（13）、气动阀V616、储气装置Ⅱ（17）、气动阀V818、减压阀V22（19）依次通过输气管连接，并组成处理线路Ⅱ； 在步骤S1中，冷凝吸收装置（7）的温度控制在[50℃，200℃]； 在步骤S5中，加热装置（8）温度控制在[30℃，150℃]。

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