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苏州闻道电子科技有限公司张秀霞获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州闻道电子科技有限公司申请的专利一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115980903B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211719709.8,技术领域涉及:G02B5/30;该发明授权一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法是由张秀霞;何月静;白宏博设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于偏振反射镜技术领域,提供了一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法。本发明的非铝基深紫外偏振反射镜可以在100nm~300nm范围内对入射深紫外线有着良好的偏振反射效率,特别是在240nm处,S光反射率为71%,P光反射率为15%,S偏振光和P偏振光的反射率之比达到了4.7;这样在对入射光进行起偏或这检偏的过程中只需2~3次反射就可以获得非常纯净的S偏振光,大大降低了光路调制系统的难度,简化了光路系统,降低了系统硬件成本,同时还能保证反射镜具备相对较高的反射率,提高了信噪比以及检测系统的应用效率。

本发明授权一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种非铝基深紫外偏振反射镜,其特征在于,包括依次层叠设置在基底上的打底层和多周期FeOCoNi层; 所述多周期FeOCoNi层包括若干个层叠设置的单周期FeOCoNi层; 所述单周期FeOCoNi层包括依次层叠设置的FeO层、Co层和Ni层; 所述单周期FeOCoNi层中的FeO层和所述打底层接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州闻道电子科技有限公司,其通讯地址为:215400 江苏省苏州市太仓市娄东街道北京东路88号东B幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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