江西兆驰半导体有限公司朱兵兵获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种垂直结构LED晶粒分选后质检方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115910860B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211404061.5,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种垂直结构LED晶粒分选后质检方法是由朱兵兵;王晓明;赵晓明;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成,并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直结构LED晶粒分选后质检方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种垂直结构LED晶粒分选后质检方法,通过将晶圆的原始标准数据与质检BIN晶粒数据进行对比分析,分析项目:电压、波长、亮度,按标准数据中电压、亮度、波长数据的标准范围进行对比,以此分类作为成品入库,利用导电膜收集晶圆中晶粒,同时抛出收集晶圆中晶粒原始数据,点测机回测导电膜收集晶圆中晶粒比对原始标准数据,得到良率管控,提前防止切割产出不良晶粒流入客户端,有效管控产品NG异常率,有效卡控LED晶粒产品质量,解决产品批次异常、分类混乱的问题,保证LED晶粒产品的质量及可靠性。
本发明授权一种垂直结构LED晶粒分选后质检方法在权利要求书中公布了:1.一种垂直结构LED晶粒分选后质检方法,其特征在于:包括以下步骤: S1:利用点测机对晶圆进行全测,得到所述晶圆中每颗晶粒的测试数据,并将每颗晶粒的所述测试数据及对应的坐标上传计算机系统; S2:利用切割机对所述晶圆进行切割,以得到多颗离散的晶粒; S3:利用分选机根据晶粒坐标,电压、波长、亮度进行分选,坐标取晶圆直径23位置取样,生产批次有P、Q、Y三类,同类特征划分为同类批次,以此分选出N个晶圆,计算机系统根据P、Q、Y三类批次按每批选取若干个晶圆,分选机在每个被选取晶圆的不同位置分选若干颗晶粒到导电膜,根据晶粒的测试数据及坐标进行分类,使晶粒在所述导电膜上呈相对坐标排列整齐,将所述导电膜收集的晶粒送到点测机的质检BIN进行晶粒测试; S4:根据所述导电膜收集多个晶粒位于晶圆处的坐标,得到步骤S1中与坐标对应的测试数据,将其定义为标准数据,将标准数据上传计算机系统; S5:用点测机的质检BIN进行晶粒全测,具体晶粒包含同类特征划分为同类批次晶圆直径23位置的全部晶粒,测试条件按步骤S1相同测试条件进行测试,得到质检BIN晶粒数据; S6:将所述质检BIN晶粒数据上传计算机系统; S7:将所述标准数据与所述质检BIN晶粒数据进行对比分析,判断所述质检BIN晶粒数据是否处于所述标准数据的标准范围内;若是,则根据步骤S3同类特征划分为P、Q、Y三类的同类批次类型,将所述质检BIN晶粒数据符合标准范围、且与步骤S5中测试晶粒属于同批次类型的未测试晶粒作为成品入库,按晶粒数据良率达成率、形态完整度及表面外观进行优次分类,其中,优品列为a档,次品列为b档。
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