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上海芯元基半导体科技有限公司郝茂盛获国家专利权

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龙图腾网获悉上海芯元基半导体科技有限公司申请的专利RGB阵列芯片制备方法及芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115602766B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211317293.7,技术领域涉及:H10H20/81;该发明授权RGB阵列芯片制备方法及芯片是由郝茂盛;陈朋;袁根如;张楠;马后永;马艳红;岑岗;魏帅帅设计研发完成,并于2022-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

RGB阵列芯片制备方法及芯片在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片制备领域,公开了一种RGB阵列芯片制备方法及芯片,通过本发明所公布的RGB阵列芯片制备方法所制备的RGB阵列芯片中,通过单一外延结构、绿光以及红光量子点的模式,直接做出一颗RGB阵列芯片,该RGB阵列芯片能与对应显示模块直接完成线路连接及封装,使得micro全彩LED芯片集成方案效率大幅提升,大幅降低了全彩micro的显示成本。

本发明授权RGB阵列芯片制备方法及芯片在权利要求书中公布了:1.一种RGB阵列芯片制备方法,其特征在于,包括: S1:提供一DPSS衬底,所述DPSS衬底包括生长基底以及位于所述生长基底上的图形化的掩膜层,并在所述DPSS衬底的图形化的掩膜层上进行外延生长,形成外延层;所述外延层包括由下往上依次形成在所述DPSS衬底上的过渡层、N型外延层、发光层以及P型外延层; S2:在所述外延层上进行刻蚀,以在所述外延层上形成多个台阶并形成第一沟槽;所述第一沟槽贯穿所述外延层以及所述掩膜层直至所述生长基底,以形成多个LED像素单元; S3:在所述台阶上制备第一导电层,以及在所述第一导电层上制备第一P电极; S4:将所述第一P电极粘合至一临时基板上,并去除所述生长基底; S5:对所述外延层进行减薄处理; S6:将减薄后的外延层与一二次衬底键合; S7:对所述二次衬底进行刻蚀,以在所述二次衬底上形成第二沟槽;所述第二沟槽的位置与所述外延层上的第一沟槽的位置相错开; S8:在所述第二沟槽的内壁上制备反射镜,并在所述第二沟槽内填充量子点材料; S9:去除所述临时基板; S10:在所述N型外延层的侧面和所述发光层的侧面制备若干第一N电极; S11:提供一CMOS基板,所述CMOS基板上包括若干第二P电极以及若干第二N电极;并将所述第一P电极与所述第二P电极对应键合,第一N电极与所述第二N电极对应键合,得到RGB阵列芯片。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海芯元基半导体科技有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祥科路111号3号楼507-2室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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