中国科学院上海光学精密机械研究所王胭脂获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利紫外宽带高反射色散镜设计方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115586594B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211310587.7,技术领域涉及:G02B5/00;该发明授权紫外宽带高反射色散镜设计方法是由王胭脂;柳畅;张宇晖;王志皓;陈昌;冯宇康;陈宇;陆叶盛;易葵;贺洪波;邵建达设计研发完成,并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本紫外宽带高反射色散镜设计方法在说明书摘要公布了:紫外宽带高反射色散镜结构,由下到上依次为基底层、紫外高反射金属层、类Gires‑Tournois腔、啁啾色散层、表面增透层;色散镜结构的基本表达式为:S代表基底,C代表紫外高反射金属层,G代表类Gires‑Tournois腔,代表啁啾色散层ajak,代表表面增透层,A代表空气,H和L分别代表光学厚度为的高折射率材料膜层和低折射率材料膜层。本发明在利用紫外高反射金属层作为反射层的同时,通过在金属膜上构造类Gires‑Tournois腔和啁啾色散层提高反射率同时进行色散补偿。并在初始结构中降低H层和L层厚度的比例,使低折射率层在膜层设计中占主导地位,通过对膜层材料分布比例的宏观调控降低了激光在类Gires‑Tournois腔内震荡时的吸收损耗,最终设计出以低吸收材料低为主体的紫外宽带高反射色散镜。
本发明授权紫外宽带高反射色散镜设计方法在权利要求书中公布了:1.紫外宽带高反射色散镜结构,其特征在于,由下到上依次为基底、紫外高反射金属层、类Gires-Tournois腔、啁啾色散层、表面增透层;该色散镜结构的表达式为: 式中,S代表基底,C代表紫外高反射金属层,G代表类Gires-Tournois腔结构,代表啁啾色散层,其中,ajak,aj和ak为色散调控系数,mg,v为啁啾系数控制啁啾色散层的周期数,代表表面增透层,n4控制增透层的厚度,A代表空气,H和L分别代表光学厚度为的高折射率材料膜层和低折射率材料膜层,且低折射率材料膜层L的厚度系数大于高折射率材料膜层H层的厚度系数; 所述的类Gires-Tournois腔的结构通式为: 其中,和为腔壁,nx为腔壁厚度系数,取值在1-20之间,ny为腔壁厚度系数,取值在1-10之间,通过调整nx和ny的大小,从而改变腔壁的厚度;apHL和HbqL为腔体,ap和bq为腔体系数,ap的取值范围为0-1之间,bq的取值范围为1-3之间,mz是腔体厚度系数,取值在1-5之间; 所述的啁啾色散层的结构通式为:ajak且取值范围为0-3之间,mg取值范围在1-8之间,通过降低H层和L层的厚度比,将电场的峰值引入低折射率层,使几乎所有的电场峰值存在于低吸收低折射率材料膜层内,从而降低膜层的总吸收,提升阈值。
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