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龙图腾网获悉北京莱伯泰科仪器股份有限公司申请的专利一种具有预警功能的电感耦合等离子体源的供气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497803B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211213411.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种具有预警功能的电感耦合等离子体源的供气系统是由唐兴斌;袁文东;刘金晶;黄立尊;尤亮;李富超;肖喜平;王娟;闫辛未设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有预警功能的电感耦合等离子体源的供气系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有预警功能的电感耦合等离子体源的供气系统，其包括：第一气瓶、第一稳压阀、第一质量流量控制器、第二质量流量控制器、第三质量流量控制器、第一数字压力表、第二数字压力表、控制器和雾化器，其中：所述第一气瓶内部存放有高压高纯氩气，所述第一稳压阀与所述第一气瓶的出气口连接，所述第一稳压阀对所述第一气瓶输出的高压高纯氩气进行降压和稳压；所述第一稳压阀的输出端与所述第一质量流量控制器、所述第二质量流量控制器、所述第三质量流量控制器和所述第一数字压力表连接；所述控制器与所述第一质量流量控制器、所述第二质量流量控制器、所述第三质量流量控制器、所述第一数字压力表以及所述第二数字压力表连接。

本发明授权一种具有预警功能的电感耦合等离子体源的供气系统在权利要求书中公布了：1.一种具有预警功能的电感耦合等离子体源的供气系统，其特征在于，包括：第一气瓶、第一稳压阀、第一质量流量控制器、第二质量流量控制器第三质量流量控制器、第一数字压力表、第二数字压力表、控制器、雾化器多个第二气瓶、多个第二稳压阀和第四质量流量控制器，其中： 所述第一气瓶内部存放有高压高纯氩气， 所述第一稳压阀与所述第一气瓶的出气口连接，所述第一稳压阀对所述第一气瓶输出的高压高纯氩气进行降压和稳压； 所述第一稳压阀的输出端与所述第一质量流量控制器、所述第二质量流量控制器、所述第三质量流量控制器和所述第一数字压力表连接； 所述控制器与所述第一质量流量控制器、所述第二质量流量控制器、所述第三质量流量控制器、所述第一数字压力表以及所述第二数字压力表连接， 所述第一数字压力表将所述第一稳压阀输出的氩气压力转换成电信号并发送至所述控制器； 所述控制器控制所述第一质量流量控制器输出的氩气流量处于一第一范围，以用作ICP源系统的等离子体气， 所述控制器控制所述第二质量流量控制器输出的氩气流量处于一第二范围，以用作ICP源系统的辅助气， 所述控制器控制所述第三质量流量控制器输出的氩气流量处于一第三范围，以用作ICP源系统的载气，载气输出端与所述雾化器和所述第二数字压力表连接， 所述第二数字压力表将载气的压力转换成电信号并发送至所述控制器， 多个所述第二稳压阀分别与多个所述第二气瓶的出气口连接，多个所述第二稳压阀的输出端连通至所述第一稳压阀的输出端，多个所述第二稳压阀分别对多个所述第二气瓶输出的高压高纯氩气进行降压和稳压， 所述第四质量流量控制器与所述第一稳压阀的输出端以及所述控制器连接，所述控制器控制所述第四质量流量控制器输出的氩气流量处于一第四范围，以用作ICP源系统的备用气， 所述控制器设置有第一供气预警压力阈值P_Hi和第二供气预警压力阈值P_Lo，调节所述第一稳压阀使得所述第一稳压阀初始输出的氩气压力大于所述第一供气预警压力阈值P_Hi，所述控制器实时监测所述第一数字压力表检测到的所述第一稳压阀输出的氩气压力数值P1， 当P1介于P_Lo与P_Hi之间时，所述控制器输出供气不足预警信息， 当P1小于P_Lo时，所述控制器输出供气不足警报信息并输出紧急关机指令， 当P1的下降速度大于k×V0L1+L2+L3+L460时，所述控制器输出供气不足警报信息，其中，V0为供气系统的总体容积，L1、L2、L3、L4分别为所述第一质量流量控制器、所述第二质量流量控制器、所述第三质量流量控制器、所述第四质量流量控制器当前输出的氩气的流量，k为调节系数并且0k1； 所述控制器设置有载气压力堵塞阈值，所述控制器实时监测所述第二数字压力表检测到的载气的压力数值P2，当P2大于所述载气压力堵塞阈值时，所述控制器输出雾化器的堵塞警报。

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