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龙图腾网获悉无锡优联创芯机电设备有限公司申请的专利一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115172189B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210988468.0，技术领域涉及：H01L21/56；该发明授权一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置是由谢辉平设计研发完成，并于2022-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置，包括箱体罩壳，所述箱体罩壳的内部设有摆臂组件，且所述摆臂组件的底端转动连接擦盘组件；所述摆臂组件用于带动所述擦盘组件升降旋转；所述箱体罩壳的内部底端固定有擦粉平台，且所述擦粉平台的表面配合连接有真空吸盘；所述真空吸盘的底端固定有主轴，且所述主轴贯穿所述擦粉平台；所述主轴的底端设有升降组件；所述升降组件用于带动所述主轴升降。本发明的擦粉装置采用可升降的真空吸盘吸附固定硅片，利用可旋转升降的擦盘组件对固定的硅片进行擦粉操作；采用本发明的装置进行擦粉，擦粉的压力能够稳定均匀，可有效的确保硅片的加工质量，减少硅片的损耗，同时加工效率高。

本发明授权一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置在权利要求书中公布了：1.一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置，其特征在于：包括箱体罩壳（1），所述箱体罩壳（1）的内部设有摆臂组件（2），且所述摆臂组件（2）的底端转动连接擦盘组件（3）；所述摆臂组件（2）用于带动所述擦盘组件（3）升降旋转； 所述箱体罩壳（1）的内部底端固定有擦粉平台（4），且所述擦粉平台（4）的表面配合连接有真空吸盘（61）；所述真空吸盘（61）的底端固定有主轴（6），且所述主轴（6）贯穿所述擦粉平台（4）；所述主轴（6）的底端设有升降组件（5）；所述升降组件（5）用于带动所述主轴（6）升降， 所述摆臂组件（2）包括升降部分和摆动部分，所述升降部分用于带动所述摆动部分升降；所述升降部分包括伺服电机（26）、丝杠（27）、螺母（28）和导轨板（29）；所述伺服电机（26）的外侧顶端固定有导轨板（29），所述导轨板（29）固定于箱体罩壳（1）的底端；所述伺服电机（26）的输出端连接丝杠（27），且所述丝杠（27）配合连接螺母（28）；所述导轨板（29）的侧部设有线轨（291）， 所述摆动部分包括连接壳（21）、摆臂轴（22）、固定盒（23）、第一减速电机（24）和传动组件（25）；所述固定盒（23）的侧部固定有第一滑块（231），且所述第一滑块（231）滑动连接所述线轨（291）；所述螺母（28）的侧部固定有固定盒（23），且所述固定盒（23）的顶端内部转动连接有摆臂轴（22）；所述摆臂轴（22）的顶端固定有连接壳（21）；所述摆臂轴（22）的另一端通过传动组件（25）连接第一减速电机（24）， 所述升降组件（5）包括气缸（51）、限位柱（52）、背板（53）、第二滑块（54）和连接板（55），所述背板（53）固定于所述箱体罩壳（1）的底端，且所述背板（53）的侧部固定有气缸（51）；所述气缸（51）的顶端固定第二滑块（54）；所述第二滑块（54）滑动连接所述限位柱（52），且所述限位柱（52）固定于所述背板（53）与所述箱体罩壳（1）之间；所述第二滑块（54）的侧部固定有连接板（55），且所述连接板（55）的侧部固定有主轴（6）。

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