郑州大学张重阳获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州大学申请的专利栅极调控的高响应Sn掺杂Ga2O3微米线光电探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115498061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210989059.2,技术领域涉及:H10F30/282;该发明授权栅极调控的高响应Sn掺杂Ga2O3微米线光电探测器及其制备方法是由张重阳;杨珣;单崇新设计研发完成,并于2022-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本栅极调控的高响应Sn掺杂Ga2O3微米线光电探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提出了一种栅极调控的高响应Sn掺杂Ga2O3微米线光电探测器及其制备方法,光电探测器包括衬底,衬底上从下到上依次设置有Sn掺杂Ga2O3微米线层、绝缘层和栅极,Sn掺杂Ga2O3微米线层一侧的衬底上设置有源极,另一侧的衬底上设置有漏极。本发明通过栅电压来调控光生空穴从而改变肖特基势垒的方法,从而实现了高响应Sn掺杂Ga2O3微米线光电探测器的制备。
本发明授权栅极调控的高响应Sn掺杂Ga2O3微米线光电探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.栅极调控的高响应Sn掺杂Ga2O3微米线光电探测器,包括衬底,其特征在于:衬底上从下到上依次设置有Sn掺杂Ga2O3微米线层、绝缘层和栅极,Sn掺杂Ga2O3微米线层一侧的衬底上设置有源极,另一侧的衬底上设置有漏极; 源极和漏极均包括50~100纳米厚的Ti层,Ti层的上侧设有40-90纳米厚的Au层;源极和漏极的间距为5-15微米; 栅极包括40~60纳米厚的Ni层,Ni层的上侧设置有80~120纳米厚的Au层;栅极的长度2~8微米,宽度0.8~5微米; Sn掺杂Ga2O3微米线直径为0.8~5微米; 绝缘层为Al2O3绝缘层;衬底为Al2O3衬底,衬底的厚度为300~400微米。
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