株式会社荏原制作所辻一仁获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆方法以及镀覆装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119013440B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280008820.8,技术领域涉及:C25D21/00;该发明授权镀覆方法以及镀覆装置是由辻一仁;山本健太郎设计研发完成,并于2022-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆方法以及镀覆装置在说明书摘要公布了:一种镀覆方法,其通过具备基板支架的镀覆装置对基板进行镀覆处理,上述基板支架包含与上述基板能够导通地接触的接触部件,上述镀覆方法包括:在上述基板支架倾斜了的状态下,使上述基板支架以第1旋转速度旋转的步骤;朝向以上述第1旋转速度旋转的上述基板支架排出液体,以便向上述接触部件供给上述液体的步骤;停止上述液体的上述排出的步骤;在停止上述液体的上述排出之前或在之后的规定时间内,开始使上述基板支架向水平位置减少倾斜的步骤;在上述基板支架位于上述水平位置的状态下,使上述基板支架以比上述第1旋转速度快的第2旋转速度旋转的步骤;以及在上述基板安装于上述基板支架后,对上述基板进行上述镀覆处理的步骤。
本发明授权镀覆方法以及镀覆装置在权利要求书中公布了:1.一种镀覆方法,其通过具备基板支架的镀覆装置对基板进行镀覆处理,所述基板支架包含与所述基板能够导通地接触的接触部件, 所述镀覆方法的特征在于,包括: 使所述基板支架倾斜的步骤; 在所述基板支架倾斜了的状态下,使所述基板支架以第1旋转速度旋转的步骤; 朝向以所述第1旋转速度旋转的所述基板支架排出液体,以便向所述接触部件供给所述液体的步骤; 停止所述液体的所述排出的步骤; 在停止所述液体的所述排出之前或在之后的规定时间内,开始使所述基板支架向水平位置减少倾斜的步骤; 在所述基板支架位于所述水平位置的状态下,使所述基板支架以比所述第1旋转速度快的第2旋转速度旋转的步骤; 停止所述基板支架的所述第2旋转速度的旋转的步骤; 在停止了所述旋转的所述基板支架安装所述基板的步骤;以及 对所安装的所述基板进行所述镀覆处理的步骤, 所述规定时间为2秒以下。
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