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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115464673B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210910800.1，技术领域涉及：B25J15/00；该发明授权一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手是由王晓尉设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手在说明书摘要公布了：本发明提供一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手，涉及半导体制造技术领域，光电传感器包括感光元件和电路控制模块，电路控制模块与感光元件电连接，电路控制模块用于接收感应信号并将感应信号与阈值进行比对，以确定所述晶圆的状态；还用于调节所述感光元件的输入光的亮度，并根据所述感光元件感应的所述晶圆的规格对所述阈值进行调节。通过电路控制模块将感应信号与阈值进行比对，进而可以确定晶圆的状态；通过对感光元件的输入光的亮度进行调节，并根据感光元件感应的晶圆的规格对阈值进行调节，以使得感光元件可以检测不同规格晶圆的状态，确保感光元件对于不同规格的晶圆都具有较高的准确度，增大了感光元件的使用范围。

本发明授权一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手在权利要求书中公布了：1.一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器，其特征在于，包括： 感光元件，用于感应晶圆的反光量并输出感应信号； 电路控制模块，与所述感光元件电连接，所述电路控制模块用于接收所述感应信号并将所述感应信号与阈值进行比对，以确定所述晶圆的规格；还用于调节所述感光元件的输入光的亮度，并根据所述晶圆的规格对所述阈值进行调节，以消除上手臂末端执行器背面材料反光产生的影响； 信号放大输出模块，分别与所述电路控制模块和控制终端电连接，所述信号放大输出模块用于对所述电路控制模块输出的信号进行放大处理后输出给所述控制终端；还用于在所述电路控制模块与所述控制终端之间起到电气隔离的作用； 所述电路控制模块包括控制器、信号转化单元、滤波单元、比较器和第一电阻，所述控制器的第一连接端与所述信号转化单元的第一连接端连接，所述信号转化单元的第二连接端与所述比较器的第一连接端共接所述控制器的第二连接端，所述比较器的第二连接端、所述滤波单元的第一连接端、所述控制器的第三连接端以及所述第一电阻的第一连接端共接所述感光元件的第一连接端，所述比较器的第三连接端、所述滤波单元的第二连接端、所述感光元件的第二连接端以及所述感光元件的第三连接端共接供电单元，所述感光元件的第四连接端分别与所述控制器的第四连接端以及第五连接端连接，所述第一电阻的第二连接端、所述比较器的第四连接端以及所述控制器的第六连接端均与所述供电单元连接，所述比较器的第五连接端与所述信号放大输出模块连接，所述控制器的第七连接端与通讯模块连接； 所述信号放大输出模块包括放大器和第三电阻，所述第三电阻的第一连接端与所述比较器的第五连接端连接，所述第三电阻的第二连接端与所述放大器的第一端连接，所述放大器的第二端与所述控制终端连接。

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