长春中科长光时空光电技术有限公司张星获国家专利权
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龙图腾网获悉长春中科长光时空光电技术有限公司申请的专利一种垂直腔面发射激光器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115173224B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210718669.9，技术领域涉及：H01S5/183；该发明授权一种垂直腔面发射激光器及其制作方法是由张星设计研发完成，并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直腔面发射激光器及其制作方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，涉及半导体激光器领域，包括衬底；设于衬底上表面的VCSEL外延结构；设于VCSEL外延结构上表面的绝缘层；设于开关电极外侧的测温电极，用于施加与开关电极相反的电压；测温电极包括设于VCSEL外延结构上表面的第一测温电极，以及设于隔离沟道底部的第二测温电极；设于绝缘层上表面且位于测温电极外侧的消磁线圈电极，用于通入电流以产生与开关电极、测温电极和垂直腔面发射激光器产生的总磁场大小相等、方向相反的磁场。本申请通过设置测温电极和消磁线圈电极，使VCSEL实现自身温度测试和整体无磁性，无需借助额外的部件，降低制作成本、提升制作效率，且体积仍为芯片级体积。
本发明授权一种垂直腔面发射激光器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括： 衬底； 设于所述衬底上表面的VCSEL外延结构； 设于所述VCSEL外延结构上表面的绝缘层； 设于开关电极外侧的测温电极，用于施加与所述开关电极相反的电压；所述测温电极包括设于所述VCSEL外延结构上表面的第一测温电极，以及设于隔离沟道底部的第二测温电极； 设于所述绝缘层上表面且位于所述测温电极外侧的消磁线圈电极，用于通入电流以产生与所述开关电极、所述测温电极和所述垂直腔面发射激光器产生的总磁场大小相等和方向相反的磁场。
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