北京华卓精科科技股份有限公司焦健获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利气浴装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115164730B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210666842.5，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权气浴装置是由焦健;李怀斌;付大为设计研发完成，并于2022-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本气浴装置在说明书摘要公布了：本发明属于光刻技术领域，尤其涉及一种气浴装置。本发明的气浴装置，包括：整流喷射单元，整流喷射单元的第一面上分别设置有用于喷射气流的第一环形喷射口和第二环形喷射口，第二环形喷射口围绕第一环形喷射口的外周设置，第一环形喷射口的内侧设置有用于容纳的读数头的安装区域，其中，第一环形喷射口与第二环形喷射口喷射的气流的流速不同。本发明的气浴装置是一种局部气浴装置，是针对读数头及其光路所包络区域进行二次的环境控制手段，通过两个喷射口分别喷射不同流速的气流，从而形成内外两层气流，在读数头周围产生一个相对静压的区域，可有效抵挡运动台高速运动产生的扰动气流影响，保证平面光栅系统的测量精度。
本发明授权气浴装置在权利要求书中公布了：1.一种气浴装置，其特征在于，包括：整流喷射单元，所述整流喷射单元包括内部形成有缓冲腔的缓冲层、以及与所述缓冲层层叠设置的喷射层；缓冲层背离所述喷射层的侧壁上形成有与缓冲腔连通的缓冲入口； 所述喷射层上形成有分别与所述缓冲腔连通并用于喷射气流的第一环形喷射口和第二环形喷射口，所述第二环形喷射口围绕所述第一环形喷射口的外周设置，所述第一环形喷射口的内侧设置有用于容纳的读数头的安装区域， 其中，所述第一环形喷射口与所述第二环形喷射口的径向宽度不同，以使得喷射的气流的流速和流径不同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号