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龙图腾网获悉江苏甫瑞微纳传感科技有限公司申请的专利MEMS结构雾化芯及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114983032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210619277.7，技术领域涉及：A24F40/46；该发明授权MEMS结构雾化芯及其制备方法是由刘瑞设计研发完成，并于2022-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS结构雾化芯及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS结构雾化芯及其制备方法。所述MEMS结构雾化芯包括：支撑结构，所述支撑结构具有背对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有储油槽，所述第二表面设置有与所述储油槽相连通的导油孔，所述第二表面与第一表面背对设置；电阻加热结构，所述电阻加热结构设置在所述支撑结构的第二表面，当所述电阻加热结构接入电源后，自所述导油孔输送的流体介质能够与所述电阻加热结构接触并被加热雾化。本发明不仅使得雾化芯可靠性更高，温度的一致性控制的更好，可以精准控制电阻范围，而且还可以精准控制渗油的速率和数量，结合半导体工艺，可以实现批量化、低成本的制造，避免陶瓷工艺烧结时带来的污染。

本发明授权MEMS结构雾化芯及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS结构雾化芯，其特征在于包括： 支撑结构，所述支撑结构包括层叠设置的第一支撑结构和第二支撑结构，所述第二支撑机构具有背对第一支撑机构的第一表面，所述第一支撑机构具有背对第二支撑机构的第二表面，所述第二表面与第一表面背对设置，所述第一表面设置有储油槽，所述第二表面设置有与所述储油槽相连通的导油孔，所述导油孔同时穿过所述第一支撑结构和第二支撑结构； 电阻加热结构，所述电阻加热结构设置在所述支撑结构的第二表面，当所述电阻加热结构接入电源后，自所述导油孔输送的流体介质能够与所述电阻加热结构接触并被加热雾化； 所述支撑结构的第二表面具有第一区域和第二区域，所述电阻加热结构包括至少覆设在所述第一区域的图案化的导电材料层，所述导油孔至少设置在所述第二区域； 所述支撑结构的第二表面的第二区域还设置有多个导引槽，每一所述导引槽还与所述导油孔相连通，并且，所述导引槽的深度小于所述第一支撑结构厚度的12； 所述导引槽内还填充有导引层，所述导引层由金属颗粒和非金属颗粒结合形成，其中，所述金属颗粒与电阻加热结构的材质相同，所述非金属颗粒与第二支撑结构的材质相同，且所述电阻加热结构还直接与所述导引层接触或连接。

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