买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种气体流场均匀性检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115201057B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210564195.7，技术领域涉及：G01N7/00；该发明授权一种气体流场均匀性检测系统及方法是由张南;王鑫;吴彩庭;刘自然;毛朝斌;罗骞设计研发完成，并于2022-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体流场均匀性检测系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及化学气相沉积技术领域，具体提供了一种气体流场均匀性检测系统及方法，其包括：驱动组件；检测盘，其包括承载台、气压传感器和至少一种气体浓度传感器，气压传感器和气体浓度传感器均设置在承载台上，气压传感器用于采集生成气压信息，气体浓度传感器用于采集生成对应的原料气体的浓度信息；控制器，与气压传感器、气体浓度传感器和驱动组件电性连接，用于控制驱动组件间隙性地驱动承载台旋转预设的第一角度，还用于根据气压传感器在不同位置采集生成的气压信息检测混合气体是否均匀，还用于根据气体浓度传感器在不同位置采集生成的浓度信息检测对应的原料气体是否均匀；该系统能够有效地提高外延生长的膜厚均匀性。

本发明授权一种气体流场均匀性检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种气体流场均匀性检测系统，用于检测外延设备的气体流场的均匀性，包括驱动组件1，其特征在于，所述气体流场均匀性检测系统还包括： 检测盘2，其包括承载台21、气压传感器22和至少一种气体浓度传感器23，所述气压传感器22和所述气体浓度传感器23均设置在所述承载台21上，所述气压传感器22用于采集生成气压信息，所述气体浓度传感器23用于采集生成对应的原料气体的浓度信息； 控制器3，与所述气压传感器22、所述气体浓度传感器23和所述驱动组件1电性连接，用于控制所述驱动组件1间隙性地驱动所述承载台21旋转预设的第一角度，还用于根据所述气压传感器22在不同位置采集生成的所述气压信息检测混合气体是否均匀，还用于根据所述气体浓度传感器23在不同位置采集生成的所述浓度信息检测对应的所述原料气体是否均匀； 所述气体浓度传感器23的种类为多种，所述根据所述气体浓度传感器23在不同位置采集生成的所述浓度信息检测对应的所述原料气体是否均匀的过程包括： 根据多种所述气体浓度传感器23在不同位置采集生成的浓度信息获取多种所述原料气体的第一浓度比例信息； 根据所述第一浓度比例信息检测所述原料气体是否均匀。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。