西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司史思雪获国家专利权
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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114757483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210257745.0，技术领域涉及：G06Q10/0631；该发明授权一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备是由史思雪设计研发完成，并于2022-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备，半导体工艺设备包括多个模块，其中包括真空大气转换模块、工艺模块，该方法包括：根据物料的加工路径、各模块执行的任务、执行任务产生的动作顺序，生成当前物料对应的任务列表；设置求解模型的约束条件和求解目标；将任务列表输入求解模型，以使求解模型根据任务列表、约束条件和求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。从而实现结构布局更为复杂，工艺精度要求更高的设备的调度需求。
本发明授权一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的物料调度方法，其特征在于，所述半导体工艺设备包括多个模块，其中包括真空大气转换模块、工艺模块，所述方法包括： 根据物料的加工路径、各模块执行的任务以及执行所述任务产生的动作顺序，生成针对当前物料对应的任务列表； 设置求解模型的约束条件和求解目标；其中，所述约束条件包括物料加工时间关系约束、多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束；所述同一模块内的任务间顺序关系约束，用于使同一模块中的不同任务依次执行；所述求解目标为物料执行全部工艺模块任务的开始时间与结束时间之和最短的时间； 将所述任务列表输入所述求解模型，以使所述求解模型根据所述任务列表、所述约束条件和所述求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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