买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115083955B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210239103.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的方法及设备是由崔海圆;A·科里阿金;元俊皓;金旻祐;崔基熏;金应秀;金泰熙;许弼覠;李章晋;成进荣设计研发完成，并于2022-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于处理基板的方法及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及用于处理基板的方法及设备。本发明构思提供一种用于处理基板的方法。用于处理基板的方法包含：加压步骤，用于在将基板放入内部空间之后，通过向内部空间供应处理流体来增大腔室的内部空间的压力；流动步骤，用于通过将处理流体供应给内部空间及从内部空间排放处理流体的组合来产生处理流体的流动；及减压步骤，通过从内部空间排放处理流体来降低内部空间的压力，且加压步骤包含：底面供应工艺，通过将处理流体供应给被放入内部空间中的基板的背面来增大内部空间的压力；及顶面供应工艺，通过向放入到内部空间中的基板的顶面供应处理流体来增大内部空间的压力。

本发明授权用于处理基板的方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的方法，所述方法包含以下步骤： 加压步骤，所述加压步骤用于在将所述基板放入到内部空间之后，通过向所述内部空间供应处理流体来增大腔室的所述内部空间的压力； 流动步骤，所述流动步骤用于通过将所述处理流体供应给所述内部空间及从所述内部空间排放所述处理流体的组合来产生所述处理流体的流动；及 减压步骤，所述减压步骤通过从所述内部空间排放所述处理流体来降低所述内部空间的所述压力， 其中，所述加压步骤包含以下步骤： 底面供应工艺，所述底面供应工艺通过将所述处理流体供应给被放入到所述内部空间中的所述基板的背面来增大所述内部空间的所述压力；及 顶面供应工艺，所述顶面供应工艺通过将所述处理流体供应给被放入到所述内部空间中的所述基板的顶面来增大所述内部空间的所述压力； 其中，所述加压步骤进一步包含排放工艺，所述排放工艺用于在所述顶面供应工艺之后排放供应给所述内部空间的所述处理流体；及其中，所述顶面供应工艺及所述排放工艺连续地执行；及 其中，所述加压步骤将所述内部空间的所述压力增大至预设压力，且在所述内部空间的所述压力达到所述预设压力之前执行所述顶面供应工艺及所述排放工艺。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。